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「中国半导体论坛
」，谢谢。
——
2019
中国重点半导体大硅片项目进度回顾
1
月
17
日，西安奕斯伟硅产业基地项目正式封顶。
2
月
28
日，总投资
110
亿元的中晶（嘉兴）半导体大硅片生产基地建设项目正式开工。
3
月
1
日，江苏睿芯
晶半导体科技有限公司
8-12
英寸集成电路级硅片项目签约常州，该项目
项目首期总投资约
3
亿美金，建设
300
毫米半导体硅片产能
10
万片
/
月，项目达产后，年可实现营业收入
11.4
亿
元。
3
月，银和半导体集成电路大硅片二期项目所有土建工程全部结束，计划
7
月试投产。
3
月
12
日，新傲科技举办“
SOI 30K
生产线项目首台工艺设备搬入仪式”，标志着其
SOI 30K
建设进入冲刺阶段。
3
月
19
日，德州有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目开工仪式。
5
月初，漳州中科智谷电子信息产业园项目与高新区一轮善淳集成电路级单晶硅项目签约落地，计划总投资
6
亿元，主要建设半导体级别单晶硅拉棒量产示范厂，建筑面积约
37000
平方米，建成投产后
3
年内预计产值可达
12
亿元。
6
月
18
日，新加坡
LVG
集团晶圆再生项目正式签约落户黄石经济技术开发区。项目总投资
23.13
亿元，设备投资额
20.96
亿元，项目全部投产后，将建成
4
条晶圆再生生产线，可实现月产
40
万片的产能规模。
8
月
29
日，辽宁科兴半导体科技有限公司芯片基底材料（
SOI
）基地项目已经奠基开工，项目总投资
60
亿元，建设年产
12
英寸芯片基底材料（
SOI
）
100
万片，项目分两期建设，项目一期投资
30
亿元，建设年产
12
英寸寸芯片基底材料（
SOI
）
50
万片。
9
月
16
日，丽水开发区签订了半导体晶圆片、外延片制造项目。项目由中科院上海冶金所博士生导师（杭州华芯微科技公司总经理）张峰教授领衔的团队投资，建设
8
英寸和
12
英寸单晶硅晶圆片、外延片制造生产基地。
9
月
21
日，杭州中芯晶圆大硅片项目竣工投产，实现了
8
英寸大硅片的正式量产，同时
12
英寸大硅片生产线进入调试、试生产阶段。
9
月
27
日，位于宜兴的中环领先集成电路用大硅片项目一期现代化的
8
英寸硅片生产正式投产！
——重点项目概况与企业动态
如图所示，中国大陆目前进行
8
及
12
英寸半导体硅片生产及研发的单位主要有超硅、金瑞泓、有研、
Ferrotec
（中国）、洛单集团、上海新昇、上海新傲、南京国盛等。根据亚化咨询的最新统计目前，已建、在建和签约待建的项目已经超过
20
个，总投资超过千亿。
主要生产企业分别进展如下：
1.
奕斯伟
西安奕斯伟硅片技术有限公司成立于
2018
年
2
月，是奕斯伟科技有限公司（
ESWIN
）在西安成立的硅材料制造公司。该项目投资
30
亿元，地点位于长安通讯产业园区，设计产能为
5
万片
/
月的
12
英寸硅片。从开工到投产运营预计共
21
个月，于
2020
年
6
月投产。
产品
|
产品
|
产品比例
|
生产规模（万片
/
月）
|
|
Polished
（抛光片）
|
60%
|
3
|
|
EPI
（外延片）
|
40%
|
2
|
|
合计
|
100%
|
5
|
目前奕斯伟硅片项目厂房基本已建设完毕，正在进行设备的搬入。
2.
超硅
超硅在上海、重庆、成都三地建有半导体硅片生产基地。
重庆超硅半导体有限公司于
2014
年
6
月在重庆两江新区注册成立，拥有
400
亩土地，设计产能为
50
万片
/
月的
8
英寸硅片及
5
万片
/
月的
12
英寸硅片。目前产能
15
万片
/
月的
8
英寸硅片。
8
英寸硅片产片已经出货。
上海超硅位于上海松江经济开发区，项目建成后主要从事各种规格单晶硅片的生产和销售，主要产品为
300mm
抛光片和外延片
360
万片
/
年，
450mm
抛光片
12
万片
/
月，项目于
2018
年
6
月开始进行施工建设及设备引入，计划于
2020
年
7
月达产。目前正在进行设备的搬入与安装。
产品
|
产品
|
尺寸
|
生产规模（万片
/
月）
|
|
抛光片
|
300mm
|
20
|
|
抛光片
|
450mm
|
1
|
|
外延片
|
300mm
|
10
|
2017
年
8
月云南城投集团与邛崃市人民政府签署《成都超硅半导体生产基地项目》协议，协议中商定将在邛崃市建设超硅半导体生产基地，项目计划投资
50
亿元，目前仍然处于计划与筹备阶段。
3.
金瑞泓
金瑞泓共有三个硅片生产基地，位于宁波的浙江金瑞泓科技股份有限公司，以及位于衢州的金瑞泓科技（衢州）有限公司和金瑞泓微电子（衢州）有限公司。其中，浙江金瑞泓具备
4-8
英寸半导体抛光片、外延片生产能力，金瑞泓科技主要进行
8
英寸抛光片、外延片的生产，金瑞泓微电子主要从事
12
英寸半导体硅片业务。
|
金瑞泓抛光片产能、产量等情况（万片）
|
|
2016
年
|
2017
年
|
2018
年
|
|
产能
|
440.22
|
463.03
|
603.52
|
|
产量
|
318.90
|
419.49
|
537.29
|
|
产能利用率
|
72.44%
|
90.60%
|
89.03%
|
|
产量（用于后道加工）
|
149.60
|
202.71
|
332.38
|
|
产量（对外销售）
|
169.30
|
216.78
|
204.91
|
|
销量
|
178.27
|
212.54
|
199.20
|
|
产销率
|
105.30%
|
98.04%
|
97.21%
|
|
销售收入（亿元）
|
1.65
|
2.04
|
2.38
|
|
均价（元
/
片）
|
92.45
|
96.15
|
119.68
|
|
金瑞泓外延片产能、产量等情况（万片）
|
|
2016
年
|
2017
年
|
2018
年
|
|
产能
|
180.68
|
194.81
|
295.41
|
|
产量
|
138.32
|
184.17
|
294.37
|
|
产能利用率
|
76.55%
|
94.54%
|
99.65%
|
|
产量（用于后道加工）
|
50.52
|
63.82
|
78.41
|
|
产量（对外销售）
|
87.80
|
120.35
|
215.96
|
|
销量
|
92.63
|
121.73
|
209.21
|
|
产销率
|
105.51%
|
101.14%
|
96.87%
|
|
销售收入（亿元）
|
1.98
|
2.70
|
5.49
|
|
均价（元
/
片）
|
214.05
|
221.56
|
262.43
|
*
产能、产量、销量数据、均价均为折合
6
英寸产品数据
浙江金瑞泓科技股份有限公司主要进行
4-8
英寸抛光片及外延片的生产。
为了迎合市场需求，金瑞泓对衢州现在有的年产
120
万片集成电路用
8
英寸硅片项目中的二期工程拉晶进行技术改造，实现重掺砷单晶硅片，并调整了一期、二期工程部分设备选型，并在现有产能基础上新增年产
120
万片
8
英寸硅片的生产能力。金瑞泓科技（衢州）有限公司三期项目实施后公司将形成年产
240
万片
8
英寸硅片的总产能。
金瑞泓
12
英寸硅片项目的实施主体金瑞泓微电子已经完成设立，将负责建设
15
万片
/
月产能的
12
英寸半导体硅片。
4.Ferrotec
（中国）
Ferrotec
在中国共有三个生产基地，分别是位于上海的申和热磁、杭州的中欣晶圆以及银川的银和半导体。银川基地未来主要进行拉晶，拉制出来的单晶棒运至杭州和上海进行切片等加工操作。上海产线的
8
英寸硅片加工产能为
10
万片
/
月，杭州产线的
8
英寸硅片加工产能为
35
万片
/
月、
12
英寸硅片加工产能为
24
万片
/
月。
Ferrotec
未来
8
英寸硅片产能将达到
45
万片
/
月，
12
英寸硅片将达到
24
万片
/
月。
目前，银和半导体二期项目已经投产，
2019
年
8
月宣布
12
英寸半导体单晶棒正式下线。
2019
年
9
月，杭州中欣晶圆项目正式竣工，实现了
8
英寸硅片的量产，
12
英寸硅片进入调试、试生产阶段。
5.
上海
硅产业集团
上海硅产业集团为控股型企业，半导体硅片的研发、生产和销售由上海新昇、上海新傲、
Okmetic
（位于国外）三家控股子公司进行。
上海新昇投资
68
亿元投资建设
12
英寸硅片厂，月规划产能为
30
万片
/
月，拉晶炉采购主要来自韩国、日本、德国，切割、研磨、抛光设备主要采购自日本，部分非关键设备采购自韩国和台湾。目前该厂一期项目正在运行中，产量约为
6-7
万片
/
月，预计
2019
年达到
10
万片
/
月的产能水平。上海新昇
12
英寸硅片正片目前未有销售，主要产品仍为
dummy wafer
。
新傲公司目前是中国领先的
SOI
材料生产基地，前也是中国技术领先的外延硅片供应商，能够提供
4
英寸、
5
英寸、
6
英寸和
8
英寸的
SOI
晶片和
SOI
外延片。
上海新傲目前共有三个厂，
2
个厂进行外延片的生产，另个厂房进行
SOI
硅片的生产。
|
产品
|
设计产能
|
|
8
英寸外延晶片
|
288
万片
/
年
|
|
6
英寸
BESOI
晶片
|
30
万片
/
年
|
|
8
英寸
BESOI
晶片
|
12
万片
/
年
|
|
6
英寸抛光片
|
15
万片
/
月
|
|
8
英寸抛光片
|
15
万片
/
月
|
2019
年
3
月
12
日，新傲科技举办“
SOI 30K
生产线项目首台工艺设备搬入仪式”，标志着其
SOI 30K
建设进入冲刺阶段，预计
2019
年年底完成产能设备的安装。
6.
中环半导体硅片项目
中环股份
8-12
英寸大硅片项目，晶体生长环节在内蒙古呼和浩特，抛光片环节在天津和江苏宜兴。
目前，天津工厂已有
30
万片
/
月的
8
英寸产能。
2019
年
9
月，宜兴工厂一期项目投产，已经具备成熟的
8
英寸半导体硅片供应能力。
目前项目积极推进中，预计到
2022
年，
8
英寸硅片规划产能为
75
万片
/
月，
12
英寸硅片规划产能为
60
万片
/
月。
7.
协鑫
协鑫半导体大硅片项目位于江苏徐州经济技术开发区高新路。项目一期建设面积约
24
万平米，主要进行
8
英寸和
12
英寸半导体级硅片的生产，其中
8
英寸硅片产能是
30
万片
/
月，
12
英寸硅片产能是
30
万片
/
月。
目前，徐州项目的
PVA
长晶炉已经搬入。
除此之外，协鑫还计划在徐州建设年产
60
万片
8
英寸再生晶圆及
300
万片
12
英寸再生晶圆项目。
2018
年底，项目进行第一环评公示，预计项目将在
2020
年开工。
8.
合晶
科技
台湾合晶科技集团公司是全球第五大硅片供应商，也是全球前三的低阻重掺硅片供应商，致力于半导体硅片产业已有
20
余年。合晶科技在中国大陆有四处半导体硅片生产基地：位于上海的上海合晶硅材料有限公司和上海晶盟硅材料有限公司、位于扬州的扬州合晶科技有限公司以及位于郑州的郑州合晶有限公司。
郑州合晶项目投资
12
亿元，在郑州航空港经济综合实验区建设年产
