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国产DUV光刻机在列！工信部印发重大技术装备推广指导！

EETOP · 公众号 · 硬件 · 2024-09-15 11:58

正文

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近日，工业和信息化部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》通知。

“工信微报”介绍道，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。

值得注意的是，在重大技术装备文件列表中包含了国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩(ArF)光刻机（65nm）的内容。

其中氟化氩光刻机，光源为193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

目前来说，光刻机共经历了六代的发展，从最早的 436nm 波长，再到第二代光刻机开始使用波长 365nm i-line，第三代则是 248nm 的 KrF 激光，第四代就是 193nm 波长的 ArF 光刻机，属于干式DUV光刻机。第五代是ArFi，即浸没式DUV光刻机。第六代指的是极紫外EUV光刻机。