正文
一、IGBT结构
2060 年中国将实现“碳中和”的目标,高效利用绿色能源是实现这一目标的重要途径。功率模块是实现绿色能源转换的重要部件,绝缘栅门极晶体管( Insulated Gate Bipolar Translator,IGBT) 作为使用频率最高的电源转换芯片,是出现故障频率最高的器件,其失效机理及检测方式被大量研究。可靠的封装为芯片工作提供稳定的电气连接、良好的绝缘性能和充分的抗干扰能力,是 IGBT 功率模块可靠性的重要组成部分。
下面展示一些结构示意图和实物图,关于IGBT的具体构造和过程可以观看往期好文:
一文读懂IGBT功率模块
二、IGBT常见的失效模式
IGBT 模块
的芯片大多为硅材料,而硅材料本身就有其自身的缺陷,这种缺陷分为质量缺陷和潜在缺陷。这两种缺陷引起检测方式的不同而区分,当模块的缺陷可以只通过控制程序就可以检测出来,那么这种缺陷就被称作为质量缺陷;当模块的缺陷只通过质量控制无法检测,而还需要外在手段比如对模块施加外部条件才可以被检测出来的缺陷,这种缺陷具有一定的隐蔽性,比质量缺陷的影响更大,这种缺陷被称作为潜在缺陷。由于各个模块的外部条件和内部构造各不相同,因为模块的缺陷也不一样,这就造成了模块的缺陷多种多样,影响模块失效的方式具有复杂性。当 IGBT 模块被应用于不同的使用环境下时,不同环境对模块的限制也不一样,模块收到的应力也不一样以及造成失效的程度就会不一样。IGBT 失效分析如图 1所示。
图1
IGBT 失效分析
常见的失效有
功率端子断裂、键合线脱落断裂、焊层开裂退化、芯片焊层出现裂纹
等
。
IGBT 模块在正常工作时会造成热量积累,当热量散发不出去时就会造成模块失效,
因此模块的散热至关重要。
同时,由于 IGBT 模块是一整个模块,包含多个部分,每个部
分的热膨胀系数不同也会引起模块的失效。
当模块发生失效时,整体电参数会发生剧烈变
化,因此在实际测试中,当模块发生失效时可以通过测试电参数得知模块是否发生失效。
常见的失效形式的具体表现如图 2所示。
图2 常见的失效形式
来源:IGBT大功率模块高可靠封装技术研究 论文
封装导致的器件失效存在多种机理,通常包括封装应力、封装污染、静电损伤、物理损伤及缺陷等。
了解常见失效模式和机理可以为失效分析的方案设计和结论判定提供帮助。
1.封装应力
封装后的器件由多种热膨胀系数不同的材料结合而成,如果材料和工艺的选择不合理,在封装、组装以及上机使用过程中就会出现过大的应力导致芯片性发生改变(如耐压性能发生改变)。一方面,封装会给芯片带来不同程度的座力如划片、装片、键合和塑封等过程对芯片产生的机械应力和热应力;另一方期封装材料和工艺的选择还会影响产品在装配及使用时所能承受的机被应力和期力发眼,例如芯片粘接材料厚度的不同会直接影响封装结构对芯片的保护和缓冲作用。
2.封装污染
封装过程中芯片需要经过多个环节的加工和处理(例如芯片暴露在不同环境中或与不同物质接触),并与塑封料等封装材料相结合,如果材料选择不当或工艺环境控制不佳就会导致一些有害离子污染芯片,导致芯片性能降低甚至完全失效
3.静电损伤
功率半导体器件在晶圆制造和封装过程以及包装、运输及装配、使用过程中均可能被静电损伤。同时静电损伤不易观察且不一定能够通过简单的测试来剔除,因此做好器件在不同环节的静电防护非常重要。
4.物理损伤及缺陷
封装环节对芯片产生的一些非预期损伤或封装结构中的一些物理缺陷同样会导致芯片或整个器件的完整结构遭到破坏,使器件出现直接或潜在的失效风险。
三、常见的封装失效机理
3.1 封装应力
1
|
塑封料应力
|
塑封料玻璃化温度高塑封料热膨胀系数大树脂和固化剂选择不当填料类型选择及比例管控不当
|
芯片裂纹短路、漏电流偏大分层比例偏大
|
2
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焊料与芯片的匹配
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BLT 控制不当焊料层空洞增加热应力
焊料与芯片材料热膨胀系数不匹配
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翘片散热能力不足导通电阻偏大
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3
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塑封料与芯片、基板的匹配
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塑封料与芯
片、基板的热膨胀系数不匹配
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分层比例偏大芯片内部结构损伤短路、漏电流偏大
|
4
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塑封过程中的应力
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模具脱模能力不足
塑封后冷却过程中的温度冲击
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分层比例偏大散热能力不足
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5
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切筋过程中的应力
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夹具与模具配合不当
|
引脚分层比例偏大
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6
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测试过程中的应力
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测试过程热应力影响
测试过程电流脉冲影响
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电性能参数偏移
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3.2 静电损伤
3.3 封装污染
3.3 物理损伤
3.4 封装结构缺陷
其他原因总结
过电压:
VCE过电压
•关断浪涌电压
•母线电压上升
•控制信号异常
•外部浪涌电压(雷电浪涌等)
VGE过电压
•静电
•栅极驱动回路异常
•栅极震荡
•与高压相连
•外部浪涌
过流、热失效:
散热设计不完善
短路
过电流
栅极电压欠压
极配线开路
开关频率异常增加
开关时间过长
散热不良
功率循环与热循环:
过大的温度变化
过频繁的温度变化
四、一些失效案例
A、过压失效
故障点靠近硅片边沿或传感器,其电场较强。
IGBT芯片铝线和芯片表面键合位置为绑线点,当此位置出现类似现象时,可以判定为过电流损坏。
损坏的原因一般有以下几种:
1、输出短路或输出接地;
2、母线铜牌大火导致浪涌电流;
3、门极控制信号异常(有干扰源或者本身器件损坏)
B、过流失效
故障点集中于绑定线区域,因为短路电流流向是从背部的“C”到绑定线部位的“E”
IGBT芯片绑线点位置损坏严重。
IGBT芯片铝线和芯片表面键合位置为绑线点,当此位置出现类似现象时,可以判定为过电流损坏。
损坏的原因一般有以下几种:
1、输出短路或输出接地;
2、母线铜牌打火导致浪涌电流;
3、门极控制信号异常(有干扰源或者本身器件损坏)
C、过热失效
故障点位于硅片中心附近,该区域发热严重。
IGBT芯片表面有熔融的球状物并且底部有锡溢出
综述:
IGBT芯片有龟裂或者表面有熔融的球状物,出现此类现象时,可以判定为过电流损坏。
损坏的原因一般有以下几种:
1、瞬间通过极大电流导致瞬时结温过高;
2、散热不良,或者散热硅脂涂抹不到位;
3、器件本身空洞率过高
D、门极过电压
故障点位于栅氧化层,由于栅氧化层几乎分布在硅片的每个部位,所以故障点可能随机出现在硅片的任意地方。
综述:IGBT芯片门极绑线点或者门极总线有损坏,出现此类现象时,可以判定为门极过电压损坏。
损坏的原因一般有以下几种:
1、静电击穿;
2、门极有较大的电压震荡;
3、驱动电路有浪涌信号通过;
E、功率循环疲劳
键合线从硅片脱落。由于热膨胀系数的不同而产生的应力,导致铝线剥落。
F、热循环疲劳
位于底板和绝缘基片间的焊接层破裂,这是由于热膨胀系数的不同而产生的应力所导致
来源:功率半导体封装技术
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公
众
号
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引
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有
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议
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敬
请
文
末
留
言