华人博士放弃硅谷高薪回国研发5纳米芯片制造设备打破德美垄断

半导体照明网 · 公众号 · 半导体 · 2017-03-15 13:59

正文

　　在工业化时代，钢铁是工业的粮食，那么如今的信息化时代，芯片就成为了信息的粮食，对于芯片，你的关注有多少？

　　世界上50%以上的彩电，70%以上智能手机、平板电脑，都在中国制造，而他们的芯片却几乎都来自进口，大量的资金流入国外，到底如何解决？芯片高端制造，中国需要怎样的技术突破？

感受中国制造——中国“芯力量”!

　　半导体行业属于精密制造业应该算得上是人类制造技术最尖端前三之列，其中半导体芯片制造设备是其中最核心的部分。采用什么样的设备决定了一个工厂工艺技术的极限，因此也拥有了高达40%的净利润率。全球半导体产业市场上万亿美元，2015至2020年中国半导体芯片产业及芯片制造设备投资额将达1150亿美元！

中微半导体董事长尹志尧接受专访

　　中微半导体设备有限公司作为国内集成电路装备制造骨干企业，经过十年努力，拥有三大高端设备产品系列，是我国集成电路装备业界的龙头、标杆和旗帜。中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微通过创新驱动自主研发的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已在国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上广泛应用于45纳米到1X纳米及更先进的加工工艺和最先进的封装工艺。目前，正在亚洲地区30多条国际领先的生产线上运行的中微反应台已超过600个。中微开发的用于LED外延片生产和功率器件生产的MOCVD设备也已在客户生产线投入量产。

　　中微研发的介质刻蚀机是半导体生产设备中关键核心装备之一，市场一直为美日等企业垄断。中微刻蚀机的研发成功，填补了国内空白，在技术上实现突破，跟上国际技术发展步伐，明显提升我国半导体设备产业的技术能级，并可改变我国集成电路生产企业受制于人的局面，对于抢占未来经济和科技发展制高点、加快转变经济发展方式、实现由制造业大国向强国转变具有重要战略意义。

中微半导体董事长尹志尧接受专访

　　根据行业权威研究机构 Gartner 最新发布的统计结果，中微公司介质刻蚀设备市场占有率从 2013 年的全球第 6 位提升到 2014 年的全球第 4 位。考虑到 Mattson 公司仅提供低端刻蚀设备，中微公司在高端介质刻蚀设备领域已经跻身全球三强。由于中微生产的等离子刻蚀机已经实现在晶圆制造厂批量生产，2015年2月5日，美国商务部取消了对等离子干法刻蚀设备的出口限制。