正置明暗场显微检测方案

新机器视觉 · 公众号 · · 2024-09-27 21:18

正文

明场显微检测&暗场显微检测

光学显微成像的观察模式可以系统地分为明场观察和暗场观察。

在上述正置明场模式中，光通过半透半反透镜汇聚到明暗物镜的中心。而在正置暗场中，光阑和暗场环将照明光束引导到明暗场物镜的边缘。二者的不同在于照明光束入射的角度：

正置明暗场显微检测方案

我们在宽视场正置明场显微成像系统中，引入了暗场照明光路， 明场和暗场共用一个明暗场物镜及宽视场显微镜筒，实现了明/暗场双模切换的显微观察：

无需改变光路和更换物镜，用户只需操作光源ON/OFF即可切换明视场/暗视场两种观察模式。

明视场观察模式

落射式明场显微观察，多种照明波段可选；光圈可调，可按需扩展为科勒照明，为宽视场显微成像应用提供均匀照度。

暗视场观察模式

落射式暗场显微观察，深色背景提供了高对比度，适合显示轮廓、边缘、边界和折射率渐变的应用， 比如检测半导体晶圆上层结构中的典型缺陷包括颗粒、残留物、刮伤、晶体原生凹坑、裂纹等。

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