北方华创四项目获2.1亿元重大专项补助

半导体行业资讯 · 公众号 · 半导体 · 2018-05-23 22:54

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北方华创5月22日晚发布公告表示，公司及全资子公司北方华创微电子当日收到北京市经信委通过北京电子控股有限责任公司拨付的国家科技重大专项地方政府配套资金合计20978万元。上述政府补助预计不会影响公司2018年度税前利润总额。

根据公告，这次拨付的配套资金项目有四个，分别是“45-32nm LPCVD设备产业化”项目，收到地方政府配套资金2328.00万元，项目执行期六年（2011年~2016年）； “14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目，配套资金9423.00万元，项目执行期四年（2014年-2017年）； “28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化”项目，配套资金4811.00万元，项目执行期四年（2015-2018年）； “14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目，配套资金4416.00万元，项目执行期四年（2016年-2019年）。

这四个项目均属于国家科技重大专项02专项。2006年国务院发布《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020年）》确定发展16个重大专项，其中“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”被列为“02专项”，该专项于2008年国务院批准实施。