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《中国科学：信息科学》英文版
(SCIENCE CHINA
Information Sciences
)
近日发表了电子科技大学的研究成果，文章题为“
HF-VHF NEMS resonators enabled by 2D semiconductor ReSe
2
”
，于
2024
年第
67
卷第
10
期刊出。电子科技大学王曾晖、夏娟、朱健凯、徐博为通讯作者；电子科技大学基础与前沿研究院为第一完成单位。该研究得到了国家杰出青年科学基金、国家自然科学基金原创探索计划等项目的支持。
二维半导体为构建新型纳米器件提供了大量的机会，作为其中的代表二硒化铼
ReSe
2
已在二维激光、晶体管和光电探测器等领域取得了一系列进展。研究
者
们通过干法转移技术，制备了从单层到超百层的
30
余个圆形
ReSe
2
鼓膜谐振，器件工作在高频
-
超高频范围。在进一步对器件谐振的实验数据进行总结和分析后，研究人员们成功确定了二维
ReSe
2
晶体的杨氏模量为
110 GPa
，并确立了
ReSe
2
纳米机电器件的频率设计规律。上述成果有望为新型
ReSe
2
纳米器件的设计及其应用提供重要的指导，并推动二维
ReSe
2
纳米机电器件的发展。
ReSe
2
的晶体结构，基于
1-3
层
ReSe
2
材料的纳米机电器件，及此类器件的频率设计规律和二维
ReSe
2
晶体的杨氏模量提取。
https://doi.org/10.1007/s11432-024-4047-2
上
海
昂
维
科
技
有
限
公
司
现
提
供
二
维
材
料
单
晶
和
薄
膜
等
耗
材
，
器
件
和
光
刻
掩
膜
版
定
制
等
微
纳
加
工
服
务
，以及各种测试分析，
欢
迎
各
位
老
师
和
同
学
咨
