专栏名称: 洁净工程联盟

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中国电子特气相关公司介绍

洁净工程联盟 · 公众号 · · 2025-02-02 11:20

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随着芯片国产化率的提高，关键材料电子特气的国产化是大势所趋，但由于芯片国产化必然伴随相关产品价格的大幅下降，对原材料端电子特气也会有相应的降价压力，因此国产特气气体品质的提升并不意味着产品价格的上涨。反倒由于国内半导体产业追赶进程的加速，半导体材料赛道的技术进步压力将比以往更大，唯有研发实力强劲、产品管线布局完善的企业方能顶住技术进程迭代的压力，在赛道中保持身位。此外，国内电子特气产能相对分散，细分领域龙头数量众多，资产证券化比例较低，大部分优质标的并未上市，因此行业后续的整合及证券化率的提高将是大势所趋。

华特气体

公司主营工业气体和电子特种气体生产。电子特气方面公司以氟碳类气体见长，高纯六氟乙烷产能规模较大。据公司招股说明书披露，公司是国内首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、Ar/F/Ne混合气、Kr/Ne混合气、Ar/Ne混合气、Kr/F/Ne混合气等产品进口制约的气体公司。据公司招股说明书披露，其客户覆盖国内外集成电路、面板等行业知名客户，且其光刻气通过了ASML认证。

根据招股说明书披露，公司本次科创板上市募投资金投向包括四部分：①气体中心建设及仓储经营项目；②电子气体生产纯化及工业气体充装项目；③智能化运营项目；④补充流动资金。其中，①（下称气体中心项目）、②（下称生产纯化项目）是生产项目。

公司于1999年成立，注册资本300万元；在2015年7月整体变更设立为股份有限公司；2017年2月22日，公司股票上市新三板；2018年4月16日公司股票在全国中小企业股份转让系统终止挂牌；2019年4月12日，公司发布首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书。

特种气体业务贡献主要营收和毛利 。特种气体贡献公司约50%的营收合约60%毛利；普通工业气体（主要是氧气、氮气、工业氨等）业务近年来运行平稳，规模较为稳定，约贡献公司约30%的营收和20%的毛利，在公司体量相对仍较小阶段作为公司业绩的补充。除此之外，设备与工程板块是公司在为客户提供气体产品时附带销售的储气设备、供气系统及相关服务等，也能贡献一定业绩。

昊华科技

公司此前为天一科技，主营变压吸附气体分离技术及成套装置、催化剂产品、碳一化学及工程设计。2018年底中国昊华将旗下11家化工研究院注入上市公司体内，并更名昊华科技。公司业务板块细分领域较广，除天一科技原有变压吸附及相关工程和催化剂外，还包括电子气体、氟材料、聚氨酯、化学推进剂、涂料等业务。 2018全年实现营收41.8亿元，其中公司电子气体业务占营收比重7%，毛利润比重8%，毛利率为34%。2019中报公司披露口径将电子气体、聚氨酯和化学推进剂合并披露，三者合计占营收比重25%，毛利润比重29%。

公司特气产品主要位于下属黎明院和光明院体内。黎明院的前身是原化工部直属的科研院所，是为了“两弹一星”任务，以化学推进剂及原材料研制为主业发展起来的综合性研究开发机构。2002年黎明院就开始了高纯六氟化硫的研制工作，2006年投产产能达到3000吨，工业级产品主要用于电子设备绝缘，2006年左右随国家对基础电力行业的大力发展迅速占领市场。高纯SF6产品取代NF3用于CVD清洗工艺可有效降低成本，公司产品2006年就已达到5N级并逐步通过客户认证，当前已经达到5N5级，为国内高纯六氟化硫龙头。三氟化氮方面，公司与韩国大成合资建设产线一期1000吨于2015年3月动工，2016年7月达产，二期1000吨也已经于2018年10月投产。

光明院前身是化学工业部大连化工研究所，后经国有化工科研院所管理体制的多次变化，转制成为全民所有制企业，并更名为光明化工研究设计院。2010年7月，光明化工院自主研发的超纯氨产品及配套技术目前已经大规模用于航空航天、光伏太阳能领域。光明院在大连投建特气研发生产基地项目，产品包括超纯氨1000吨、绿色四氧化二氮40吨、硫化氢200吨、硒化氢20吨、三氟化硼1吨、磷烷、硼烷、砷烷共3吨、高纯氯50吨、二氧化碳-环氧乙烷混合气熏蒸剂300吨，预计2019年投产。

巨化股份（中巨芯）

博瑞电子及其子公司博瑞中硝、凯圣氟化学及其子公司凯恒电子原本为巨化股份旗下主要从事半导体材料业务的经营实体2018年4月，巨化股份将博瑞电子和凯圣氟化学100%股权转让至中巨芯旗下，从而使上述两个子公司出表（中巨芯大基金和巨化股份各持股39%）。

公司特气业务主要集中在博瑞电子及博瑞电子和日本中央硝子合资的子公司博瑞中硝体内。博瑞电子一期项目年产1000吨高纯氯化氢、500吨高纯氯气、1000吨医药级氯化氢总投资额1.54亿元已经投产，扩建项目500吨高纯氯气、500吨高纯氯化氢也已经于2018年10月环评公告。二期年产高纯二氧化碳200吨、氧化亚氮150吨、含氟气体500吨、含氯气体200吨、电子混合气4000瓶项目总投资1.2亿元，截止2017年末已投入32万元。

2019年2月，公司环评公告含氟系列电子特气项目，产能包括三氟甲烷250吨、八氟环丁烷180吨、一氟甲烷5吨、二氟甲烷17吨、五氟乙烷3吨、六氟乙烷55吨、八氟丙烷5吨、八氟环戊烯5吨，达产后预计贡献营收5035万元，利税1282万元。公司在八氟环丁烷、六氟丁二烯、八氟环戊烯等先进工艺刻蚀气体布局方面具备先发优势。

南大光电

公司主营MO源和电子特气业务，2019半年报特气业务营收占比33%，毛利占比44%，毛利率61%，为公司毛利率最高的业务板块。2019半年报公司实现营收1.39亿元，同比增长10%；实现归母净利0.26亿元，同比下滑9%。

公司现有特气业务主要为磷烷和砷烷，2014年4月，公司使用超募资金0.65亿元对全资子公司全椒南大光电进行增资，实施“高纯砷烷、磷烷等特种气体的研发和中试”项目，后又于2015年全椒南大光电进行增资扩股。目前，砷烷、磷烷已经成功量产并供应多家客户。2018年公司高纯磷烷产能约为35吨，砷烷产能15吨。据2019年初的投资者关系活动记录表披露，2018年公司磷烷、砷烷产能利用率平均在80%左右，公司已经启动了扩大电子特气产能的项目，预计到2019年底将把产能扩大一倍。 2019年1月公司磷烷、砷烷扩产项目获环评批复，一期项目将扩产17.5吨磷烷，二期将再扩产17.5吨磷烷+15吨砷烷。2019年8月，公司公告采用现金收购及增资方式取得山东飞源气体有限公司57.97%股权，飞源气体具备NF3产能1000吨、SF6产能2000吨。

雅克科技

雅克科技传统业务为阻燃剂业务，2016-2017年，公司先后并购华飞电子、江苏先科和成都科美特进军电子材料业务，当前电子材料业务主要分为IC前驱体、电子特气和封装用球形硅微粉三大部分。2019中报电子特气业务占公司营收比重20%，毛利润比重28%。

科美特的特气布局以含氟气体为主，四氟化碳、六氟化硫产能为国内龙头，目前分别具备1200吨、7000吨产能，后续仍有3500吨三氟化氮项目在建。

凯美特气体

公司原为中石化三产单位，是国内以化工尾气为原料，年产能大的食品级液体二氧化碳生产企业，其他产能还包括氩气、氢气、精馏可燃气等2017年9月公司公告特气项目，总投资3.1亿元，新建25套电子特种气体项目生产装置，采用低温吸附、深冷精馏分离、电解、催化合成技术。从公司环评信息来看，现已公告电子特种气体项目，总投资1.97亿元，产能包括二氧化碳712吨、一氧化碳31吨、氮气180吨、氦气25吨、氩气257吨、氢气13吨、氪44吨、氙5.3吨、氖85吨、氟基激光混配气3000瓶、动态混配气1800瓶、氯化氢基激光混配气600瓶，预计2021年投产。

硅烷科技

公司成立于2012年5月，为平煤神马集团下属企业，是国内硅烷领域打破进口垄断的先行者，通过与上海交通大学、中国化学赛鼎工程公司联合研发，于2014年9月建成一期年产600吨ZSN法高纯硅烷生产线，2015年下半年转入正式生产，产品纯度可达8N级，成功打破进口垄断。

2018年末公司具备产能硅烷3000吨和电子级多晶硅1500吨（自用1800吨硅烷），项目完全达产后将占领国内硅烷40%、电子级多晶硅15%、亚洲其他地区硅烷10%以上市场份额，年产值10亿元，利税2亿元。2019中报公司实现营收2.1亿元，同比增长221%；实现归母净利941万元，同比增长374%。公司未来还将进一步建设万吨级高纯硅烷、多晶硅等项目，也将进军国内资本市场，目标是建设产值、市值双百亿企业。

未来五年，公司规划分两期扩大硅烷建设规模并开发生产电子级多晶硅，预计总投资60亿元。其中：二期工程预计投资10亿元，建设年3000吨级高纯硅烷气及配套1500吨电子级（部分区熔级）多晶硅项目。三期工程投资50亿元，建设年15000吨高纯硅烷气、10000吨电子级多晶硅和1000吨区熔级多晶硅项目。三期项目建成投产后，硅烷股份产值将达到一百亿元、利税总额二十亿元。

金宏气体

公司业务分为特种气体、工业气体、清洁能源三大板块，特种气体主打产品为超纯氨和氢气，其中超纯氨纯度达到7N级，为国内首创，成功打破了进口垄断。2019上半年公司实现营收5.46亿元，同比增长8%；实现归母净利0.75亿元，同比增长17%。2019中报公司特气业务营收占比40%，毛利占比46%，毛利率55%，为公司毛利率最高的板块。

派瑞特气（718所）

中国船舶重工集团公司第718研究所创立于1966年，总部位于河北省邯郸市，分部位于天津市北辰区，占地面积约90万平方米，是集科研开发、设计生产、技术服务于一体的国家级科研单位。718所在上世纪80年代即已开始三氟化氮相关研究，在国家重大专项的支持下，经过多年军民融合、持续技术创新，相继研制出高纯三氟化氮、六氟化钨等特种气体系列产品，打破国外企业十几年的垄断，结束了该领域相关产品的高价时代，主要产品三氟化氮的市场价格大幅下降，改变了我国高纯特种气体长期依赖进口的不利局面。

派瑞特气为718所旗下特气子公司，创立于2016年底，电子特气方面主打产品为三氟化氮、六氟化钨，此外在传统和先进氟碳类气体如六氟乙烷、八氟丙烷、八氟环丁烷、六氟丁二烯等领域及其他含氟、含氯特气如四氟化硅、氯化氢、氟化氢等产品，以及同位素气体氘气等领域均有布局。

目前718所三氟化氮、六氟化钨产能分别为6000吨、800吨，生产规模均位居国内第一。三氟化氮、六氟化钨的国内市场覆盖率超过95%，国际市场覆盖率达50%；其他7种气体及10种混合气体已研制成功并具备批产条件，得到了国内半导体龙头企业的测试认证。公司5400吨新材料项目在2018年10月通过环评验收，新增三氟化氮产能3000吨、六氟化钨产能500吨及高纯氘气5吨；公司另有7300吨新材料及80000吨液氮项目，计划2020年6月投产，包含产能三氟化氮4500吨、六氟化钨1500吨、六氟丁二烯200吨、四氟化硅60吨、六氟乙烷60吨、八氟环丁烷220吨、氯化氢500吨、氟化氢50吨、电子混合气150吨、液氮8万吨，届时公司有望成为三氟化氮、六氟化钨全球第一大供应商。

博纯材料

福建博纯材料成立于2009年，在福建泉州建有全球最大的锗烷生产基地，在美国亚利桑那州金曼设有气体研发中心。公司董事长陈国富先生曾供职于美国Scott特气、Matheson以及大阳日酸等国际知名气体公司。

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