SEM（扫描电子显微镜）-EDS（X射线能谱仪）是目前最主要的成分分析手段之一，之前我们讲过其原理、技术进步、应用项目和行业
，现在来讲讲SEM和EDS在各测试项目中是如何应用的，拿到SEM和EDS结果后如何分析？
首先关于SEM，它的
用途
主要有两个：
一是利用其放大功能观察微小样品表面形貌及元素分布
（注：只能观察到样品最表面形貌；图像为黑白像；若需观察材料截面情况，需要先制样）
；
二是作为电子探针与EDS或AES（俄歇电子能谱）相结合，分析微区内的元素组成。
一. 观察表面形貌分析和元素分布
1
）表面形貌：
SEM（
Scanning electron microscope
）成像模式，利用次级电子来观察样品的表面形貌和特征。SE图像能够提供非常丰富的图像细节与信息，如材料表面形貌（如裂纹、孔洞、腐蚀、形变等信息）、微观峰谷结构、颗粒分布、晶体结构等等，是常用的表面形貌和形态分析方式。
SEM图像上的参数如何看？以图1为例，10.0kV表示工作电压，8.0mm表示工作距离，20.0k表示放大倍数20 000倍，右下标尺全长2.00微米，每格0.2微米。
图1和2是不同的粉末样品，可以看出微观上的形态区别，金刚石粉末样品呈现块状、多棱角，团聚在一起，而改性钛白粉样品则呈现出不规则形状，颗粒分散。
其他类型样品的SEM图像如图3~8所示。
图5 铜膜 图6 无纺布
图7 塑料 图8 未知物
2
）元素分布
：BSE（
Backscattered Electron Imaging
）则是另一种成像模式，它利用反向散射电子来显示样品的化学成分差异。主要为元素、相的二维分布。测试效果如图9所示。
图9 金属样品表面BSE图像
图9反映出样品表面元素分布情况，亮的部分是钨（W），暗的部分是铜（Cu）。
2. 测试/尺寸/粒度（粒径）/金相/镀层厚度/断口分析等
在用SEM观察样品表面形貌和特征的基础上，可在图像中使用测量工具，手动测量直径、长度、宽度等参数。金属样品还可大概判断组织结构、评价晶粒度和夹杂物级别等。测试效果如图10所示。
图10 无纺布纤维直径测量
从图10可以看出，无纺布纤维直径范围在8.84~12.2μm，平均在10μm左右
（注：
无纺布纤维横截面因刀片切割会变形，测量直径有偏差，横向测量更准确
）
。
粒径（
Particle Size
）
：颗粒的直径或尺寸大小，通常通过直径、长度、体积等指标描述
。
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