【会员动态】北方华创第100台氮化铝PVD设备顺利交付

2018年4月23日，北方华创微电子第100台AlN PVD设备顺利出货，发运客户生产线。交付仪式在亦庄经济技术开发区生产基地隆重举行，耿锦启副董事长、纪安宽副总裁、丁培军副总裁与AlN PVD设备项目组及生产团队共同见证了这一激动人心的瞬间。

NAURA AlN PVD设备，是继ELEDE®️系列刻蚀机、EPEE™️系列PECVD设备之后，北方华创在LED领域第三个突破百台大关的单系列产品，它不仅是中国自主知识产权高端装备打破国际大厂技术垄断、首次实现与国际同行同时发布的创新见证，更彰显了LED高端装备制造的中国实力。如今，100台的出货交付，是其市场认证最有效的名片，是其工艺性能更有竞争力的佐证，更预示着其未来市场更多的机会，更多的100台。

NAURA iTops A230系列AlN PVD是国内首个成功应用于GaN基LED制程的薄膜缓冲层沉积设备，其可提高缓冲层与GaN外延层的晶格匹配度，提高LED产品的输出效率;拓宽MOCVD设备的工艺窗口，使产品的ESD测试通过率大幅提高;减低MOCVD的外延生长时间，提高产能，使整线的生产成本降低。自发布以来，NAURA AlN产品先声夺人，凭借其优异的工艺性能、技术稳定性和极具竞争力的CoO，在LED市场收获超高占有率和客户认可度，成为产业当之无愧的明星产品。

而今，中国半导体产业崛起正当时，作为目前国内半导体高端工艺装备的龙头企业，北方华创将义不容辞承担起时代赋予自己的使命，秉承“以客户需求为导向的持续创新”这一理念，积极探寻各种新技术的应用，并持续推动产业化、市场化、国际化，以更优质的产品服务全球客户，助力国之重器腾飞，携产业同仁共绘新时代“智造强国”的梦想蓝图。

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