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通过宏观环境中的研磨来控制微米、纳米甚至分子级的微观精细度,让晶圆表面实现高度平坦化,这是极其困难的。
“这就好比让刘翔跑110米栏的时候,前面要以百米冲刺的速度跨过所有栏,刚越过最后一个栏,就以优美的姿势停住。
”安集科技董事长、总经理王淑敏解释称。
穿上米白色的连体防护服,戴好口罩和厚厚的护目镜,在除尘室冷静10秒钟——这是迈进安集研发中心洁净室最基本的准备步骤。
对于绝大多数投资者来说,安集科技的名字即熟悉又陌生,科创板开市首日“牛冠全场”,将安集科技推到了众人面前。
可当经过上面一连串的流程,你会发现,这里要比想象中复杂得多——12英寸的晶圆在抛光机台中恒速旋转,乳白色的抛光液有节奏地滴落,而它们要达到的目标竟然是,通过化学、机械的方法,使无数的FinFET(鳍式场效应晶体管)高度一致——是的,就像是在纳米级的微观世界中,指挥一支不会出错的液体部队。
近日,上海证券报社和华泰柏瑞基金联合主办的“科技零距离——走进科创板上市公司”活动首站走进安集科技,实地感受集成电路产业的前沿技术,与公司董事长、总经理王淑敏等高管团队面对面交流,感知科创魅力,展望中国机会。
“我们花了15年时间扎下根,终于破土而出,作为中国半导体材料的突围者站在这里。
接下来,我们会以更快的速度向上生长。
”王淑敏握了握手中的话筒,坚定地说道,“安集准备好了。
”
尊重、关怀、以人为本,求新、务实、追求卓越——在安集科技的宣传片中,企业文化这段话被重复了两次。
王淑敏很自豪,这与企业愿景、使命一样,是安集的信仰。
打破国外厂商对集成电路领域化学机械抛光液的垄断,带领公司登上科创板,王淑敏早已不是那个在酒店式公寓里艰难起步的创业者,可谈起15年前写下的定位与使命,她还是诚惶诚恐,“那时我们花了很长时间坐下来问自己,我们的定位与使命是什么?
最终字斟句酌地定下了几句话,15年来一字未改。
现在想来,当初确实很狂妄,但幸运的是,我们基本上做到了。
”
公司使命提出:
填补国内技术空白,打破特定领域高端材料100%进口的局面。
彼时,中国半导体材料100%进口,从零到一的难度可想而知。
如今,安集打破了垄断,实现了进口替代,尽管目前全球市场占有率仅有2.44%,但这是宝贵的第一步。
“以创新为驱动的产品和技术服务方案,助力客户提升整体竞争力。
”摩尔定律的存在,令集成电路的创新神经时刻紧绷,作为向晶圆芯片制造厂商提供配套材料的供应商,安集也必须与客户一起创新成长。
从2008年第一只产品在中芯国际8寸厂上线后,安集不断迭代升级,目前,公司化学机械抛光液已在130-28nm技术节点实现规模化销售,14nm技术节点产品已进入客户认证阶段,10-7nm技术节点产品正在研发中。
截至2018年12月31日,安集科技拥有授权专利190项,均为发明专利,其中中国大陆140项、中国台湾42项、美国4项、新加坡3项、韩国1项。
“我们不挣低端薄利的钱,要靠技术创新,争取获得最大效益的回报。
”王淑敏说。
“立足中国,服务全球,为投资者及战略合作伙伴带来最大效益的回报。
”在王淑敏看来,成为科创板首批上市公司非常幸运,公司的资本计划得以提前实施,“立足中国,服务全球的战略能够更快地实施。
”
“材料科学产业化有一定的特殊性,在掌握原理的前提下,需要有丰富的直接经验积累,这就是为什么我们花了15年时间打下根基。
如果把安集看做一棵树,种子在地下浸润了十多年,这一过程中,市场、技术、人才的经验都不可或缺。
”王淑敏告诉记者。
在技术方面,化学机械抛光液随着芯片制程发展而不断创新。
上世纪90年代,一两支抛光液就可以打天下,而随着制程变为10纳米、7纳米,甚至现在大家都在讲的5纳米、3纳米,抛光液数量已经变成15支、18支,甚至超过20支。
同时,更多的新材料被引入化学机械抛光液中。
对精度要求越来越高,通过宏观环境中的研磨来控制微米、纳米甚至分子级的微观精细度,让晶圆表面实现高度平坦化,这是极其困难的。
用王淑敏的话来说,就是“想一想,晚上都可能睡不着觉”。
“举个通俗的例子,这就好比让刘翔跑110米栏的时候,前面要以百米冲刺的速度跨过所有栏,刚越过最后一个栏,就以优美的姿势停住。
”王淑敏解释称,化学机械抛光液看着像牛奶一样,其实里面有十数种核心成分,每一种成分的“任务”都不一样:
有的负责跑得快,有的负责停得慢,有的负责清除,有的负责保护,它们彼此还要相互牵制,共同发挥作用。
只有配方远远不够,工艺同样重要。
每个抛光步骤都需要八到九个工艺,每个工艺有五到十个工艺参数。
我们做配方优化过程当中,另外需要结合工艺参数,所以这是交叉的。
在实验室克服上面一系列困难,才只是开始。
安集是向晶圆芯片制造厂商提供大规模批量化的产品,这就需要与客户的生产条件完全匹配,每一片都要抛光合格。
为此,安集晶圆打造了全面的质量管理体系,确保生产出来的产品合格稳定。
“一支产品从立项到能够拿到客户端测试需要两年时间,做成百上千次实验,用掉1.5万片甚至2万片晶圆。
”一位研发人员向记者笑称,安集可能是国内除了晶圆厂外,采购晶圆最多的公司。
对人才的要求同样很高,据悉,一个博士/硕士到安集,通常要经过三到五年的历练,才有可能独立承担一个项目,从承担项目到带领一个项目,又要三五年。
“在上市过程中,有人形容我们是‘美小强’,‘美’是指公司治理规范、财务数据透明,‘强’是指我们在国内化学机械抛光液领域是独一份,唯一不足是‘有点小’,营收、净利的规模不够大。
”王淑敏笑言,这种说法很贴切。
在王淑敏看来,“美小强”是根基,打下根基的过程比较漫长,安集花了15年,获得了国内外客户的认可,被资本市场接纳。
“有了根基,我们会不断向上生长,变成‘美中强’‘美大强’。
材料领域非常细分,又有很多共享平台,我们扎根的速度不快,但足够扎实,一旦根有了,后续平台嫁接就会快起来,与扎根不是一个数量级。
”王淑敏告诉记者。