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恭喜,北方华创!又一重磅产品交付!

半导体行业联盟  · 公众号  · 半导体  · 2024-11-01 16:51

正文

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近日,北方华创自主研发的高均匀性、大产能,并适用大翘曲硅片的12英寸等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备交付客户。


北方华创深耕PECVD设备领域,陆续推出多款系列设备,满足LED、功率器件等多领域需求。此次新推出的Cygnus系列12英寸PECVD设备,能制备多种高品质介质薄膜,满足多样化应用需求,实现高均匀性、高产能,解决大翘曲硅片难题,适用于2.5D/3D三维器件工艺。



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