国产重大突破，半导体相关概念股

节日发酵的最大消息，就是国内光刻机的突破。9月9日，工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》的通知，公布了氟化氩光刻机、氟化氪光刻机，意味着28nm以上制程成熟芯片，有望实现全流程国产化。消息刺激下，国产光刻机产业链走强。

一、国产光刻机产业链曙光初现

诚然，国产光刻机虽然和海外还有较大差距（阿斯麦在2003年的时候已经和台积电研发出了第一台浸没式光刻机AT:1150i，2007年推出了比较成熟的浸没式光刻机XT:1900i），但可以说本次在光刻机领域我们依旧是取得了从90nm分辨率提升至65nm的巨大进步。国产光刻机产业链曙光初现，其产业链受市场重视，有望继续挖掘。光刻机的整体结构

二、光刻机相关概念个股

1、同飞股份（300990）： 2023年半年报：公司液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。

2、波长光电（301421）：2023年8月25日互动易回复：在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。

3、张江高科（600895）：2023年9月1日互动易：公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子装备有限公司22,345万元人民币，持有微装公司10.779%的股权，后续公司未实施增资。公司投资上海微电子装备、华勤通讯为代表的一批集成电路优质企业，实现“中国芯”国产光刻机的重大突破。

4、新莱应材（300260）： 2021年6月22日互动易：光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

5、海立股份（600619）： 根据公司官网：海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。

6、凯美特气（002549）：据2023年3月5日互动易回复：公司电子特气项目生产芯片所需的超高纯气体和光刻气产品具有较高的品质，已通过多个国际头部企业的相关认证或审核，并与多家头部企业建立合作，客户认可度高。2023年半年报：控股子公司凯美特电子特种稀有气体有限公司光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证。

7、蓝英装备（300293）：2021年12月10日投资者关系记录表：公司精密清洗设备面向的高端芯片制造行业企业客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司，该客户负责制造光刻机的核心光学系统。

8、京华激光（603607）：2023年4月17日互动易回复：公司控股的美国菲涅尔制版科技公司是一家多年从事微结构光学技术研发及相关设备制造和维护的企业，在微结构光学方面具有较强的研发实力，尤其在全息光学、菲涅尔猫眼、水晶微结构、浅纹微结构、铂金浮雕等方面研发成果突出，先后研发出多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机设备，并在全球范围内独家供应公司使用。

9、奥普光电（002338）：据2023年3月15日互动易回复：子公司禹衡光学的高端光栅编码器填补了国内空白并达到国际同类产品先进水平，解决了国家在高端位移传感器领域的卡脖子问题，为国产替代、自主可控做出应有贡献。

10、晶瑞电材（300655）：公司是一家专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售的高新技术企业，主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等。

11、国林科技（300786）：2023年9月14日互动易回复：子公司国林半导体臭氧设备产品从2022年下半年开始进行市场导入，2023年以来陆续在半导体、面板、科研等行业领域出货验证，该产品用于化学气相沉积（CVD）、原子层薄膜沉积（ALD）、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。

12、赛微电子（300456）：2023年9月14日互动易：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，该类业务一直为公司工艺门槛极高的优势业务。

13、东方嘉盛（002889）：2023年9月8日互动易回复：公司上半年向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库已获批通过。七月初公司已经中标，将与国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻机寄售维修服务。