据韩国媒体Business Korea报道,消费品和工业用品制造大厂3M 在比利时的半导体冷却剂工厂,传在当地严格的法规下遭到无限期关闭,而该工厂占全球半导体冷却剂总产量80%,对蚀刻技术至关重要。
据了解,3M 客户包括台积电、三星、SK 海力士和英特尔,目前还无法确定无限期关闭工厂对于这些重要客户的影响。
业内人士透露,目前客户库存可承受一到三个月,除非在这段时间内解决这个问题,否则全球制造业可能面临巨大的冲击。
报道指出,比利时政府的法规与全氟/多氟烷基物质(PFAS)的排放有关,该物质拥有防水、防油、抗热的特性,广泛应用于化妆品、牙线、纺织品等,但在体内累积久后可能导致激素紊乱,所以美国、欧盟都在收紧法规,尽量减少排放。
什么是半导体冷却剂?
半导体冷却剂实际上是应用于电子行业的一种氟化液,即电子级氟化液,具有无色、无味、低粘度、不导电、不易燃、无腐蚀性、高安全性,拥有非常稳定的物理和化学性质。可以被用作清洗剂、干燥剂、溶剂和冷却剂。
由于电子级氟化液所具有的更高的绝缘性等稳定的特性和清洗冷却的效果,它可以长时间使用而不会对电子设备及元器件造成任何损坏,并且在运行过程中不会污染空气,是一种理想的散热材料。可以被广泛的应用于半导体制造的冷却、数据中心的浸入式冷却,航空电子设备的喷雾冷却等。
在半导体制造过程中,为了在更小的尺寸下获得精确的加工能力,不仅在芯片制造的一些环节需要精确控制温度。同时,由于半导体产线是24小时长期不间断运转,相关的半导体设备也需要通过电子级氟化液来进行恒温冷却,以保障稳定运行。
以3M公司的FC-770电子级氟化液为例,其主要被用于半导体蚀刻设备、离子注入设备,化学气相沉积(CVD)的恒温冷却。FC-770的倾点也非常低(倾点的物理意义是反映油品低温流动性的好坏的参数之一,倾点越低,油品的低温流动性越好),所以可以用于冷热冲击试验及其他各种测试。该产品价格也非常高昂,在阿里巴巴上的报价高达16800元/20kg。
3M FC-7200 电子氟化液的潜在生物累积性说明
不过,氟化液及其生产排放的全氟/多氟烷基物质对于生物体来说,具有潜在的生物累积性,在人体内累积久后可能导致激素紊乱。因此,美国、欧盟都在收紧法规,尽量减少排放。
Zwijndrecht工厂污染问题由来已久,去年10月曾部分停产
据外媒报道,早在1971年,3M公司就开始在比利时的Zwijndrecht生产一种叫“全氟辛烷磺酸”(PFOS,属于PFAS物质)的化学产品。
据悉,PFOS在自然界中难以分解,会持续在环境及生物链当中累积,对免疫系统会产生不利影响,也会破坏甲状腺功能;在怀孕期间,还会导致许多胎儿发育的问题。
3M公司 2008 年环境许可证中列出的 PFOS的浓度的最大值为每升 30 微克。但佛兰德斯政府相关部门定期测量的3M工厂的废水中PFOS的浓度则超过了500微克,是最高标准的16倍!
据称,在 Zwijndrecht 工厂附近,污染超标程度比正常数值要高26倍,小鼠记录到的PFOS 水平达到了有史以来全世界在活生物体中测得的最高水平。
为了解决污染问题,2018年11月,经佛兰德斯政府批准,Lantis(管理安特卫普周边交通项目的公共机构)与 3M 签署协议规定:政府将投入 6300 万欧元来清理受污染最严重的土地,而3M 必须保证建造价值 75000 欧元的安全护堤,政府承诺不追究 3M 对 PFOS 污染的责任。
不过,这一污染问题直到2021年才经由媒体广泛报道公之于众,成为了当地的一大丑闻。
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