硅晶圆制造必不可少！这家小企业带来石墨热场国产新希望

文｜小如

校对｜小北
图源｜网络

集微网消息，近日，嵊州市西格玛科技年产300套半导体级直拉硅单晶炉超高纯石墨热场项目传来最新消息，新厂区将于今年建成，并用于该项目生产线。

嵊州市西格玛科技有限公司是一家专业的高纯石墨器件研制企业，企业前身是有着十几年石墨器件制造历史的嵊州市精诚石墨制品厂。据悉，西格玛科技在2009年切入光伏行业，并在高纯石墨器件研制领域做到了“隐形冠军”。

据嵊州新闻网报道，西格玛科技年产300套半导体级直拉硅单晶炉超高纯石墨热场项目总投资1.26亿元，分两期实施。第一期，上马真空高温纯化炉和真空气相沉积炉各一台，年产半导体级单晶炉超高纯石墨热场60套，计划于2019年底前投产；第二期，上马真空高温纯化炉和真空气相沉积炉各4台，达到年产半导体级单晶炉超高纯石墨热场300套，计划于2020年底前投产。

此外，西格玛总经理马建军表示公司有近10年的太阳能直拉硅单晶炉高纯石墨热场加工经验，技术和国外持平。

据悉，半导体级直拉硅单晶炉超高纯石墨热场是制作半导体硅晶圆的必需部件，但目前能够完整提供成套热场的只有包括德国西格里集团、日本东洋碳素、法国美尔森集团等少数公司。国内仅有江苏一家企业引进了一套相关设备和工艺，且产品仅供集团内部生产使用。

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