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韩国SK Materials实现氟化氢量产,推进半导体材料国产化,洗刷此前日本断供耻辱

牛科技网  · 公众号  · 科技媒体  · 2020-06-18 18:38

正文

据韩国媒体的报道,SK Materials在本月17日宣布实现99.999%超高纯度的氟化(HF)气体量产,氟化氢气体一般用于半导体生产工序,韩国媒体报道称这标志着氟化氢已经实现了本地化生产,进一步降低了对日本的依赖。

SK Materials实现超高纯度的氟化(HF)气体量产之际,正值日本对韩国半导体企业依赖的化学品实施严格的出口管制一周年。

韩企崛起削弱了日本企业竞争力,出口管制后的韩国“被迫”国产化

2019年7月,日本政府宣布对出口韩国的半导体工业材料加强审查和管控,并将韩国排除在贸易“白色清单”以外,具体针对出口到韩国的高纯度氟化氢、氟化聚醯亚胺,以及光阻剂等3种先进化学品,对这些化学品实施严格的出口管制。

此后,所有的日本企业在出口这些化学原料时,必须接受日本政府的审核才得以放行。而在当时,韩国的半导体企业几乎100%依赖日本等国所生产的高纯度氟化氢,此举威胁到了三星、LG等韩国半导体企业的正常生产。

面临进口先进化学品出口管制后的韩企,随即开展了国产化的尝试。

2019年11月。SK Materials成立了相关材料的研发中心,成功开发出基于三氟化氮(NF3)技术的气态氟化氢原型,这给韩国半导体产业带来了很大的信心,随后SK Materials在韩国庆尚北道的荣州工厂,设置了年产量15公吨规模的生产设备,最终的目标是实现对于先进化学品特别是高纯度氟化氢的国产化。

从2019年的11月份一直到今年6月份,SK Materials一直与客户进行测试,直到本月开始批量生产。韩媒报道称,韩国科技工业部门计划在2023年前,把国产化的比率由0%提升到70%。

何为高纯度氟化氢,韩企的99.999%(5N)与日企相比如何?

日本对韩国进行出口管制的先进化学品包括氟化氢、氟化聚酰亚胺和光刻胶等半导体行业关键材料,对韩国半导体产业最重要的当属其中的氟化氢,三星李在镕当初为了三星能够继续获得氟化氢材料,不惜出访日本长达6天以谋求摆脱当前的困局,当然后来也没能解决。

氟化氢的用途非常广泛,在半导体行业当中,氟化氢主要用来切割半导体基板,在半导体产品制造的600多道工序中,使用氟化氢的次数有时多达十多次,高纯度的氟化氢(HF)几乎决定了半导体材料的生产。

高纯度的氟化氢(HF)是智能手机、芯片、显示面板等产业的重要原材料。

目前具备生产氟聚酰亚胺、光刻胶及高纯度氟化氢,且纯度能够达到半导体制造业使用需求的,90%的产能都在日本。作为韩国三大半导体企业的三星、SK海力士和LG对日本产上述材料依赖度相当高。

本次SK Materials实现量产的高纯度氟化氢为99.999%(5N),在国内也被称为“5个9”,而日本厂商提供的超高纯度氟化氢为99.999999999%(11N),被称为“11个9”,SK Materials的高纯度氟化氢在纯度上仍然比不上后者,但属于已经可以用于半导体制造业的使用。在对产品品质有着超高要求的核心半导体产品上,韩企目前仍然离不开日本的供应。

韩国的最终目的是实现先进化学品的全面国产

除了高纯度氟化氢以外,SK Materials也在研发推动包括光刻胶和硬掩模板在内的半导体原材料本地化生产。公开资料显示,SK Materials在今年2月份收购了光刻胶公司。

光刻胶也是半导体制造当中重要的原材料,用于对半导体的曝光。当光刻胶被涂在晶圆上并用光刻设备进行曝光时,就会刻出此前设计的电路图案,而硬掩模板是一种光致抗蚀剂辅助材料,在曝光的过程中可以保护图案免于塌陷,得到更好的品质。







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