▲第一作者:Zhichun Zhang,Yi Chen,Peiyue Shen,Jiajun Chen,Sen Wang,Bo Wang
通讯作者:Chen Jiajun, Qi Liang,Guangyu Zhang,Chuanhong Jin,Wengen Ouyang,Zhiwen Shi
通讯单位:上海交通大学,南京大学,松山湖材料实验室,中国科学院物理研究所,浙江大学,武汉大学
DOI:10.1126/science.adu1756
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超高的载流子迁移率、优异的热导率以及单壁碳纳米管(SWNT)的纳米级尺寸,使其成为下一代电子材料的有力候选者。基于半导体SWNT的场效应晶体管(FET)相较于传统的硅基FET具有潜在优势,如更快的运行速度、更好的能效以及更高的集成密度。制造高性能的SWNT基微处理器需要高密度、良好对齐的纯半导体SWNT阵列,以确保器件的均匀性,并使电流容量和开关比最大化。对于单壁碳纳米管(SWNT)在集成电路中的应用,拥有高密度、良好排列且纯半导体性的SWNT阵列至关重要。
本文报告了在六方氮化硼(
hBN
)基底上直接生长紧密排列的
SWNT
阵列,展示了每个阵列内的高取向性和均匀手性。分子动力学模拟表明,由于管间范德华吸引力以及
SWNT
在原子级平坦的
hBN
基底上的超低滑动摩擦,导致了自组装生长机制。由生长的
SWNT
阵列构建的场效应晶体管在室温下表现出高性能,迁移率高达每伏特每秒
2000
平方厘米,开关电流比约为
10
7
,最大电流密度约为每微米
6
毫安培。
图
1|
紧密堆积的单壁碳纳米管(
SWNT
)二维阵列结构
1.
这种生长方法通常会产生随机且孤立的单壁碳纳米管(
SWNT
)。然而,引入原子级平整的六方氮化硼(
hBN
)基底后,得到了排列整齐的
SWNT
阵列。本文利用原子力显微镜(
AFM
)和扫描透射电子显微镜(
STEM
)相结合的方法,对生长出的二维
SWNT
阵列的结构进行了表征。图
1
中
A
到
D
的
AFM
图像展示了几个代表性的
SWNT
阵列,它们要么是线性阵列,要么是闭环阵列(图
1 C
和
D
)。
2.
大多数线性阵列的长度为几微米,宽度为几百纳米,并且它们有时会以固定
120°
的角度弯曲(图
1B
)。闭环阵列呈现出各种形状,包括磁盘形状(图
1C
)、跑道形状(图
1D
)、三角形形状以及一些不规则的圆形。大多数
SWNT
阵列具有
1
到
2
纳米的一致厚度(大致相当于
SWNT
的直径),这表明单层的
SWNT
堆叠成了二维阵列。二维
SWNT
阵列的示意微观结构如图
1E
所示。图
1F
所示的
SWNT
阵列横截面的
STEM
图像显示出规则排列的纳米尺寸的圆圈,每个圆圈代表一个单独的
SWNT
。管间间距始终测量为
0.33
纳米,这与多层石墨烯中发现的层间间距相当,这表明阵列内的
SWNT
是最为紧密地排列的。
1.
本文进一步表征了单壁碳纳米管(
SWNT
)阵列的结构和手性。每个阵列内的
SWNT
显示出均匀的手性。图
2A
中的原子力显微镜(
AFM
)地形图展示了一个代表性的
SWNT
线性阵列,而图
2B
中的放大
AFM
图像则是使用超尖锐
AFM
探针获得的。阵列内平行排列的
SWNT
对齐良好(管间距离恒定为
0.33
纳米),并且一条线轮廓(图
2C
中的黑线)显示了跨越
SWNTs
的均匀周期为
1.53
纳米,这表明它们具有相同的直径和可能相同的手性。
2.
对这种
SWNT
阵列进行了偏振拉曼光谱分析,图
2D
展示了不同入射角的一系列拉曼光谱。特征性的
G
峰和
2D
峰确认了该结构中存在
sp
2
碳。当光沿着阵列方向极化时,
G
峰和
2D
峰的强度达到最大;而当光垂直于阵列极化时,这些峰几乎消失(降至最大强度的约
2%
)。拉曼
G
峰和
2D
峰强度随偏振角度的变化(图
2D
中的插图)显示出二重旋转对称性,这与平行排列的
SWNT
结构非常吻合。在垂直偏振方向上,拉曼强度近乎为零,这与阵列内
SWNTs
的高度有序排列一致。
1.
本文研究了
SWNT
范德华晶体的生长和形成机制。首先考虑了线性阵列末端的一系列
U
形转弯(图
3A
),每个
U
形转弯连接阵列内的相邻
SWNT
部分。这种结构表明,
SWNT
阵列是通过多次反复折叠单个长
SWNT
而不是将不同的
SWNT
组装在一起形成的。基于这种折叠结构,我们提出了如图
3B
所示的生长过程。首先,
SWNT
通过基底生长模型从催化剂中生长出来,在新生长的
SWNT
段推动现有
SWNT
段在
hBN
表面上向前滑动(图
3B
,
i
)。当遇到
hBN
台阶或其他障碍物时,移动的
SWNT
会弯曲并附着在
hBN
台阶边缘(图
3B
,
ii
)。在沿着台阶边缘附着到一定长度后,滑动摩擦力变得足够大,迫使
SWNT
向相反方向移动。反向移动的
SWNT
通过范德华吸引力附着在先前生长的纳米管上(图
3B
,
iii
和
iv
)。
SWNT
重复这个过程,并来回弯曲几次,最终形成一个由单个
SWNT
生长而成的紧密排列的
SWNT
阵列(图
3B
,
v
)。粗粒化分子动力学模拟已经再现了上述生长过程。
2.
在能量方面,折叠的
SWNT
阵列结构可能比直的单个
SWNT
更有利,因为管间范德华势能降低了(图
3C
)。然而,在之前关于
SWNT
在其他基底上生长的研究中,并未报道过折叠的
SWNT
阵列结构。据推测,原子级平整的
hBN
基底发挥了重要作用,它为
SWNT
的自由移动提供了一个非常低摩擦的表面,使其能够达到能量上有利的折叠结构。本文推测,二维
SWNT
阵列的形成是相邻
SWNT
部分之间的范德华吸引力和
SWNT
在
hBN
表面上的滑动共同促进的。