台积电魏哲家密访 ASML 总部

半导体技术天地 · 公众号 · · 2024-05-29 18:00

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台积电先前一再表示，ASML的高数值孔径极紫外光机台（High-NA EUV），太过昂贵，2026年前使用没有太大的经济效益，但日前台积电总裁魏哲家密访ASML总部，让外界不禁猜测，台积电是否改变心意。

根据韩媒 Business Korea 报道，台积电首席执行官魏哲家撇开了 5 月 23 日自家举办的“台积电 2024 技术研讨会”，前往荷兰访问位于 Eindhoven 的 ASML 总部，以及访问德国 Ditzingen 的工业激光专业公司 TRUMPF。

ASML 首席执行官 Christophe Fouquet 和 TRUMPF 首席执行官 Nicola Leibinger-Kammüller 通过社交媒体透露了魏总秘密出访的行踪。

首席执行官 Fuke 表示：“我们向魏总介绍了我们的最新技术和新产品，包括高数值孔径（High NA）EUV 设备将如何实现未来的半导体微处理技术”。

金融分析师奈斯泰德（Dan Nystedt） 28日在X平台发文写道，台积电似乎加入了追逐下一世代EUV设备之战，即High-NA EUV机台，理由是魏哲家访问ASML与雷射供应商创浦，而非参与在台湾举行的技术论坛。业界推断，魏哲家的到访，显示台积电想买High-NA EUV，此种设备对2奈米以下制程极为关键。ASML去年底已出货首台High-NA EUV给英特尔。

前一段时间，台积电（TSMC）举办了2024年北美技术论坛，首次公布了A16制程工艺，将结合纳米片晶体管和背面供电解决方案，以提升逻辑密度和能效，预计2026年量产。随后台积电确认，A16制程工艺并不需要下一代High-NA EUV光刻系统的参与。

台积电原本打算2026年下半量产1.6奈米制程后，再导入High-NA EUV。High-NA EUV 设备报价高达3.8亿美元，约新台币123亿元，较EUV高出逾一倍。

台积电张晓强博士 5 月 14 日出席在阿姆斯特丹举办的技术研讨会时直言：“ASML 的 High-NA EUV 太贵了，我非常喜欢 High-NA EUV 的能力，但不喜欢它的价格”。

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