#工信部推广国产氟化氩光刻机# “总结来说,这次曝光的65nm分辨率的国产DUV光刻机,应该只是之前的90nm分辨率的国产光刻机的改良版,还只能用于55-65nm的成熟制程芯片制造需求,还远达不到大家期望的制造28nm制程芯片的要求。
当然,相比之前最先进的90nm分辨率国产光刻机来说,新的65nm分辨率的国产光刻机至少是已经有了一定的进步。
但是,我们依然需要清醒的认识到我们与国外先进水平之间的差距,不可盲目乐观。”
…援引结束…
看到好多媒体和大V都在尬吹。
实际情况是:比之前有进步,但还远未达到28nm制程的要求。
当然,相比之前最先进的90nm分辨率国产光刻机来说,新的65nm分辨率的国产光刻机至少是已经有了一定的进步。
但是,我们依然需要清醒的认识到我们与国外先进水平之间的差距,不可盲目乐观。”
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实际情况是:比之前有进步,但还远未达到28nm制程的要求。