三菱化学集团于12月19日宣布,将在其九州事业所福冈地区扩增用于制造半导体硅锭的石英坩埚及半导体制造设备内部高纯度石英部件原料的合成石英粉——“三菱合成石英”的生产能力。
三菱合成石英
石英坩埚是生产半导体硅锭的核心材料,其表面纯度直接影响硅锭的质量和最终晶圆的性能。在硅锭制造过程中,坩埚需承受高温并保持纯净,以防止不纯物混入导致晶圆品质劣化,因此对其材质的纯度要求极高。
用于硅锭生产的石英坩埚
“三菱合成石英”作为一种高纯度砂状二氧化硅材料,是通过三菱化学多年积累的制造技术生产的,能够满足现代半导体制造中日益严格的质量要求。该材料不仅用于石英坩埚,还被广泛应用于半导体制造设备中的高纯度石英部件,具有稳定性高、杂质含量低等优势。
此次扩产的决定是为应对全球半导体市场持续增长所带来的需求增加。新生产设备计划于2028年9月投产,预计届时三菱化学的石英粉生产能力将提升35%,进一步巩固其在高端半导体材料市场的竞争力。
来源:上海石英大会
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