本文主要报道了北方华创、华虹半导体、声芯电子的专利公布，中科院锂硫电池用单原子催化剂的研究进展，以及西安交大前沿院在单分子磁体自旋波激发研究中的突破。另外，还包括了一些其他新闻热点。
北京北方华创微电子装备有限公司公布了一种承载装置，用于在半导体工艺腔室中承载晶圆。该承载装置能够保证晶圆和承载面之间背吹气体的压力，降低承载本体出现打火现象的概率，提高使用寿命。
华虹半导体（无锡）有限公司公布了一种分立器件BVDSS测试方法，能够提高测试质量，避免漏杀及量产测试质量事故的发生，并且实现异常的快速定位分析。
苏州声芯电子科技有限公司公布了一种高性能的声表面波滤波器及其成型方法，该成型方法成型的滤波器能够阻隔体波的传输同时提高耐受功率。
中科院金属研究所在单原子催化剂研究方面取得进展，发现了中心金属原子间的长程相互作用是影响催化性能的关键，并基于此设计了高熵单原子催化剂，提升了锂硫电池性能。
西安交通大学前沿院在单分子磁体自旋波激发研究中取得突破，首次证实了单分子磁体中的量子自旋波激发。这一发现为量子自旋电子学的发展提供了新的方向。
1.北方华创“承载装置、半导体工艺腔室及承载装置的控制方法”专利公布
2.华虹半导体“一种分立器件BVDSS测试方法”专利公布
3.声芯电子“一种高性能的声表面波滤波器及其成型方法”专利公布
4.中科院锂硫电池用单原子催化剂研究获进展
5.西安交大前沿院在单分子磁体自旋波激发研究中取得突破
1.北方华创“承载装置、半导体工艺腔室及承载装置的控制方法”专利公布
天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“承载装置、半导体工艺腔室及承载装置的控制方法”专利公布，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为CN119542235A。
本发明提供一种承载装置，用于在半导体工艺腔室中承载晶圆。承载装置包括：承载本体，包括用于承载晶圆的承载面，承载本体设置有第一气体通孔，第一气体通孔用于将背吹气体传输至承载面与置于承载面上的晶圆之间；堵塞件，堵塞件可相对于承载本体作升降运动以能够运动至避让位置或堵塞位置；其中，在堵塞件运动至堵塞位置时，堵塞件位于第一气体通孔内，且堵塞件朝向晶圆的顶面不低于第一气体通孔朝向晶圆的开口所在的平面；在堵塞件运动至避让位置时，堵塞件与第一气体通孔分离。本发明的承载装置既能够保证晶圆和承载面之间背吹气体的压力，又能够降低承载本体出现打火现象的概率，提高承载本体的使用寿命。
2.华虹半导体“一种分立器件BVDSS测试方法”专利公布
天眼查显示，华虹半导体（无锡）有限公司“一种分立器件BVDSS测试方法”专利公布，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为CN119535127A。
本发明提供一种分立器件BVDSS测试方法，包括将n块浮动源形成的叠加电源连接到分立器件的源极和漏极之间并进行初始化；对前n‑1块浮动源进行FV操作；对第n块浮动源进行FI操作；等待一对应的稳定时间后，对各浮动源进行MV操作记作MVx；对各所述浮动源进行MI操作记作MIx；关闭所有浮动源；将各浮动源对应量测的电压相加之和作为初始测试值V0输出；判断MVx、MIx是否存在异常，若不存在异常，则最终测试值V为初始测试值V0；若存在异常，则根据约定的规则重新对初始测试值赋值，并且将异常状态下的MVx和MIx输出到额外的一个文档内；输出最终测试值，并分bin。本发明能够提高分立器件BVDSS测试质量，避免漏杀及量产测试质量事故的发生，并且实现异常的快速定位分析。
3.声芯电子“一种高性能的声表面波滤波器及其成型方法”专利公布
天眼查显示，苏州声芯电子科技有限公司“一种高性能的声表面波滤波器及其成型方法”专利公布，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为CN119543881A。
本发明公开了一种高性能的声表面波滤波器及其成型方法，该方法成型的滤波器包括衬底层、压电层和谐振器金属层，谐振器金属层中的电极连接区域的上表面还覆盖有覆盖金属层，衬底层上位于谐振器金属层的下方还设置有通道空腔，通道空腔的范围覆盖叉指换能器。该成型方法包括以下步骤：S1、提供衬底层并形成通道空腔；S2、在通道空腔内填充牺牲层；S3、在牺牲层上成型上导热金属层；S4、导出牺牲层；S5、形成压电层；S6、生成谐振器金属层和覆盖金属层。该成型方法成型的声表面波滤波器能够阻隔体波的传输同时提高耐受功率。
4.中科院锂硫电池用单原子催化剂研究获进展
锂硫电池以硫转换反应为核心,具有高能量密度和成本优势,是下一代储能技术颇有潜力的候选者之一。但在实际运行过程中,硫转换反应的动力学通常较为缓慢,限制了电池的实际性能。单原子催化剂尤其是新兴的高熵单原子催化剂能够提升硫转换反应动力学,但其背后的化学机制尚未明晰,常被简单归结为协同或熵增效应。这阻碍了单原子催化剂的设计与性能优化。中国科学院金属研究所科研人员在前期研发高效锂硫电池催化剂的基础上,采用第一性原理计算与实验方法,揭开了这一“黑箱”,在单原子催化剂研究方面取得进展。
研究发现,中心金属原子间的长程相互作用是影响催化性能的关键。基于此,研究实现了对高熵单原子催化剂元素种类和占比的精准定位,促进了硫转换反应,提升了锂硫电池性能。
研究发现并验证了不同中心金属原子间存在非键合作用的长程相互作用,且作用范围在亚纳米距离内。这种长程相互作用影响中心金属原子的d电子占据状态,导致非典型价态。熵的增加进一步促进了中心金属原子中d电子和基底碳原子中π电子的重排。研究在第四周期过渡金属中筛选出5个潜在的高性能中心金属原子即Mn、Fe、Co、Ni、Cu。基于此设计的这一高熵单原子催化剂,可调节硫化物的吸附和转化反应动力学,并提高被吸附硫化锂的电子导电性。研究组装的锂硫电池在10 C的高倍率下具有800 mAh g-1的初始容量,并可稳定循环200圈以上。
这一研究为单原子催化剂的进一步发展提供了理论支撑,并有望推动高比能锂电池技术的创新研究。
相关研究成果被遴选为封面文章和编辑推荐文章,发表在《先进材料》(Advanced Materials)上。研究工作得到国家重点研发计划、国家自然科学基金和博士后创新人才支持计划等的支持。
高熵单原子催化剂种长程相互作用示意图
（来源： 中科院微电子研究所集成电路研发中心）
5.西安交大前沿院在单分子磁体自旋波激发研究中取得突破
在信息技术的飞速发展中，探索更快、更节能的信息存储与传输方式具有重要的科学意义。自旋波用于信息传递无需电荷参与，具有无焦耳热损耗的特点，因而基于自旋波激发和传递原理制作而成的电子设备的能耗将极大降低。基于此，能产生自旋波激发的材料备受关注。在此之前，该类材料多集中于无机块体材料，如钇铁石榴石、CoFeB合金和NiO薄膜等。
近日，西安交通大学前沿院翟沅琦助理教授（郑彦臻团队）通过精准的配位化学设计，采用氟桥联策略与多齿醇胺配体协同作用，在溶剂热条件下成功合成了一例具有独特亚铁磁基态的3d-4f异金属团簇分子——{CrDy}。该团簇表现出典型的单分子磁体行为，磁滞回线具有软磁的特点（矫顽场为1000 Oe）；另外，利用非弹性中子散射技术，团队探测到该体系中离散的量子化自旋波激发峰（108−352 GHz），首次证实了单分子磁体中的量子自旋波激发。这一发现不仅拓展了单分子磁体的功能边界，也为量子自旋电子学的发展提供了新的方向。
{Dy4Cr2}的晶体结构、XPS、质谱、磁性及非弹性中子散射谱
该研究成果近期以《Cr-Dy单分子磁体的量子自旋波激发》“Quantum Spin Wave Excited from a Cr–Dy Single-Molecule Magnet”为题发表在国际权威期刊《美国化学会志》（Journal of the American Chemical Society）上。前沿院凌博恺博士为论文第一作者，翟沅琦助理教授、郑彦臻教授及松山湖材料实验室付振东副研究员为论文通讯作者，西安交通大学为本论文第一完成单位。该工作的中子散射实验由日本质子加速器研究综合体（J-PARC）科学家古府麻衣子（Maiko Kofu）完成，质谱测试由广东工业大学邓洁薇完成，工作得到国家自然科学基金、高等学校的学科创新引智计划资助，同时感谢西安交通大学分析测试中心的支持和帮助。（来源： 西安交通大学）
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