【造芯记】浙江“芯”潮涌

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2019 年注定是属于集成电路的一年。 2018 年中兴事件不过是一个触发点， 2019 年的华为事件让中国人的芯片之痛再一次发作。大国梦不仅需要资本和模式的不断翻涌，更需要这种关键性实业的支撑。

芯思想研究院特此推出《造芯记》专栏，回顾中国各省的晶圆制造业历程，本文主要提及8英寸和12英寸生产线，而设计和封测均一笔带过。

今天谈谈浙江省。浙江省简称 “浙”，是吴越文化的发源地，位于中国东南沿海，是中国经济最活跃的省份之一，形成了具有鲜明特色的“浙江经济”， 2018 年 GDP 排名全国第四。

浙江省的造芯史可以追溯到 1980 年代，从当时国营 871 厂在浙江绍兴建立集成电路分厂开始，播洒下浙江省集成电路发展的火种。 40 年来，浙江的集成电路产业形成以杭州、宁波为引领，绍兴、嘉兴、衢州、金华等地特色发展的“两极多点”格局。2018年浙江省集成电路产业规模超过500亿元。

为深入贯彻落实《国家集成电路产业发展推进纲要》， 2017 年 12 月 浙江省政府出台了《关于加快集成电路产业发展的实施意见》，在 《 实施意见 》 中提出积极发展集成电路设计业，做强特色工艺集成电路制造产业，做精特色集成电路工艺材料产业，做大集成电路制造业和封装测试，并发展配套相关产业，预计到 202 0 年，全省集成电路相关产业突破 1000 亿元目标。 并特别提出 “实施集成电路制造跃升工程” ， 支持有条件的地方规划布局和 建设 8 英寸和 12 英寸生产线， 融入国家集成电路制造产业发展布局， 引进 1 6 /1 4 纳米以下产线， 力争到 2020 年实现 12 英寸先进集成电路生产线零的突破 。

下面让我们一起去探究浙江省的造芯历程。

一、华越 “芯”火种

“华越”坐落于中华的古越大地，承载了老一辈半导体人的心血 ； 38 年的产业历程， 为 浙江 乃至全国的集成电路产业培养了大批人才 ， 比如杭州士兰微、芯谷科技、芯装科技、宏邦电子等公司的创始团队都在华越工作过， 他们至今仍 奋斗在祖国集成电路产业前线。

改革开放后，国营 871 厂 为谋求更大发展，在 1980 年东进浙江，投资 200 万元引进 3 英寸 集成电路关键生产设备， 在 绍兴建立集成电路分厂， 生产线于 1984 年开始投产 L STTL 电路 ， 从此点燃了浙江省集成电路制造业的火种。为了企业的做大做强，经过改制， 1992 年更名绍兴华越微电子有限公司 ， 同时生产线经过多次改造、扩建，于 1998 年建设完成 5 英寸生产线 ， 生产能力进一步提升。

1980 至 1990 年代，华越和无锡华晶都属于我国的明星企业，绍兴人以进入华越厂工作为荣。

在 2000 年后，华越 计划发展 8 英寸 晶圆 制造线，但 由于当年绍兴强调 “纺织立市”，晶圆制造这种高投入、高风险的项目没有受到重视，导致华越错失了发展的良机，加上技术人员外流严重，华越开始走下坡路了 。 但瘦死的骆驼比马大，尽管是 5 英寸产线， 华越 的 双极、铝栅 CMOS 、 VDMOS 、 SBD 、 FRD 、 CRD 等工艺 对绍兴当地的集成电路设计公司的发展支撑明显。

令人扼腕的是， 2018 年 5 月 25 日 ， 华越突然宣布关停生产线，让中国半导体业界为之震惊。回首当年华越的辉煌时代，不忍令人唏嘘。

二、士兰 “芯”火传

2017 年 3 月，士兰微旗下士兰集昕 8 英寸生产线产出第一片合格芯片，标志着士兰微迈入新的发展里程碑。这是浙江省第一条 8 英寸正式投产的晶圆制造线，也是我国第一条由民营企业投资建设的 8 英寸晶圆制造线。

士兰集昕 8 英寸生产线 定位 于 高压集成电路特色工艺 、 高压高功率半导体功率器件芯片 和 MEMS 传感器的研发和生产 ； 规划月产能 40000 片。 2017 年 6 月正式投入量产 ， 目前基本实现满载。为了实现规模生产，已经开始 8 英寸二期建设。

作为国内领先的自主综合性半导体厂商，士兰微成立于 1997 年，从集成电路芯片设计业务开始，逐步搭建了特色工艺的芯片制造平台并延伸至功率模块和 MEMS 传感器的封装领域，建立了较为完善的 IDM 经营模式。

士兰微公司创始人 “ 士兰七君子 ” 陈向东 、 范伟宏、郑少波、江忠永、罗华兵、宋卫权、陈国华 都来自华越微电子，有着长期从事集成电路设计和制造的从业经验，都深知特色工艺产品设计和制造衔接的重要性。为了解决委外生产的不确定性危险，公司决定快速进入晶圆制造领域，于 2001 年投资成立士兰集成，从事晶圆制造业务，公司首条 6 英寸晶圆制造线于 2002 年完成建设并顺利投产，这也是浙江省历史上的首条 6 英寸生产线，也是我国第一条由民营企业投资建设的 6 英寸晶圆制造线。

三、 湖州 “芯”茫然

进入 2000 后，随着 18 号文件的发布，极大的刺激了我国集成电路产业的发展。湖州也试图借助集成电路项目进行产业结构升级。于是， 元泰 晶圆制造项目进入了湖州的视线。

2002 年， 江南古城湖州 南浔有关部门对外发布信息称，浙江省最大的集成电路制造项目元泰集团正式落户南浔经济开发区。元泰 集团于 2002 年 6 月在湖州设立浙江元泰集成电路制造有限公司，计划 在 湖州投资建设集成电路晶圆制造项目， 一期 投资 1.2 亿美元建设 月产 能 5 万片 6 英寸 0.35 微米晶圆厂 ， 二期投资 3 亿美元 建设 8 英寸 0.25 微米晶圆 厂，投产后， 80% 出口 。

湖州 方面 为了促成这个最大的集成电路项目，在 南浔经济开发区免费提供 2000 亩土地，提供 1 ： 1 贴息贷款，且由当地财政支付贷款 70% 的利息。为引进元泰项目，当地还投资 2 个多亿元建设了占地 25 万平方米的热电厂；投资 1 个多亿元建变电所。

湖州方面在 2003 年发现， “热恋” 中的女朋友元泰集团突然 “飞” 到了上海嘉定 。 2003 年 1 月 茂基半导体制造（上海）有限公司第一次走入公众视野，其公布的投资计划同在浙江 湖州 一样 ， 总投资额为 4.2 亿美元；采用 6 英寸 0.35 英寸制程技术，并将在合适的时候导入 8 英寸生产线；茂基 是 上海市嘉定区引进的第一条半导体生产线 。

都说女人心海底针。 2004 年 2 月，英泰半导体制造（郑州）有限公司成立，英泰为河南半导体业的发展描绘了一个诱人的画面：投资 2.29 亿美元建设 6 英寸 0.35 微米的晶圆厂，月产能 5 万片， 80% 出口。

这三个项目可谓是异曲同工，从浙江到上海再到河南，其背后都是同个马来西亚籍华人。

随着元泰项目的离去，湖州的造芯梦也一去不返。

四、 宁波 “芯”缘续

宁波的造芯史可以追溯到 2002 年。进入 2000 年后，随着 18 号文件的发布，极大的刺激了我国集成电路产业的发展。宁波也试图借助集成电路项目进行产业结构升级。

当时宁波有三个晶圆制造项目启动，一个是明华微电子 5 英寸项目，一个是中纬积体的 6 英寸项目，一个是中宁微电子的 8 英寸项目。

明华微电子 5 英寸项目起源于 4 英寸项目， 2003 年初决定与美国 IMP 公司进行合作，并将 4 英寸产线改为建设 5 英寸产线，于 2004 年顺利投产，原为 IDM 企业，主要有模拟高压 CMOS 和 BiCMOS 工艺，后转为代工公司。并于 2016 年将设备和知识产权出售给中芯宁波。

中纬积体 6 英寸项目是由台湾人蔡南雄和冯明宪筹建，收购台积电一厂的 6 英寸设备。 2004 年投产后不久就陷入产能爬坡、良率等诸多问题中，导致现金流一直无法平衡，于 2008 年出售给比亚迪。

中宁微电子 8 英寸项目开始于 2003 年。在说中宁前，要说一下其核心筹备人李康智。李康智毕业于台湾清华大学核工系，后在美获得材料工程博士后，先后在仙童半导体、英特尔担任工程师， 1990 年代加台湾后，在德碁、联电累积了几年半导体工厂经验，并从处长、协理一直干到副总。 2001 年来到大陆参与宏力半导体的筹备， 2003 年离开宏力，开始寻求新项目。 2003 年 11 月，由李康智负责筹备的中宁微电子项目落户宁波，计划投资 9 亿美元建设 8 英寸生产线。宁波非常重视此项目， 2004 年 3 月 22 日，市政府专门成立了“中宁微电子 8 英寸芯片生产项目协调领导小组”； 2004 年宁波市人民政府办公厅“关于印发 2004 年政府工作报告主要任务分解的通知”中，中宁微电被列为重点细化项目：当年 4 月要破土动工，年底要完成大部分土建工程以及部分设备采购。到了 2005 年 9 月，由于融资不顺，中宁微电子项目偃旗息鼓，李康智也回到台湾担任光罩公司台湾鸿准的总经理。

2005 年随着江丰电子超高纯度溅射靶材基地的落户，才使宁波避免出现集成电路发展真空期。

2014 年随着《推进纲要》的发布实施，宁波市为深入贯彻落实《推进纲要》，提出了“芯港小镇”的建设规划。据悉，作为国内首个特色工艺基地、全国唯一集成电路特色小镇，芯港小镇将以宁波芯空间集成电路产业园为核心，下设宁波集成电路制造基地、宁波集成电路材料基地及国家科技部 02 专项基地等特色项目，打造全国芯片重镇。力争在高压模拟、射频前端、特种半导体技术制造和设计服务等多个领域填补国内产业链的空白。

2016 年 6 月， 中芯国际 和宁波市

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