点亮中国“芯”！北京亦庄摘下超精密制造皇冠上的明珠

长期以来半导体、集成电路一直是中国的短板，也是大宗进口商品中占比重最高的一项，荷兰和日本一直是光刻机最先进的国家，长期以来对中国的光刻机进行技术封锁。

北京华卓精科科技股份有限公司由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立，是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业。该公司以国内著名高校的原发技术为基础，经过多年技术攻关，已成功推出了光刻机双工件台、精密隔振、超精密运动系统、关键零部件等系列化产品。

光刻机是制造大规模集成电路的核心装备。为将设计图形制作到硅片上，并在2～3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管，光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大核心部件之一的工件台，在高速运动下需达到2nm（相当于头发丝直径的三万分之一）的运动精度。由此奠定了光刻机超精密工件台技术在超精密机械制造与控制领域的最尖端地位，被称为超精密技术皇冠上的明珠。

华卓精科推出的65-28nm双工件台干式及浸没式光刻机具有自主知识产权的产品级技术，该机器的投产能够使得我国成为世界少数可以研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域尖端系统的国家之一，将极大推动我国高端光刻机的研制与产品化。