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革命性3D显微成像产品全球首发——楚光三维面共焦系列产品

芯榜  · 公众号  ·  · 2025-03-10 09:00

正文




面共焦 系列产品

全球首发

革命性3D显微成像产品

公司简介


湖北楚光三维传感技术有限公司于2022年在武汉光谷注册成立,专注于微纳米级精度的光学3D成像和量测检测新技术研究,致力于打造新一代三维成像技术平台,成为全球领先的光学微纳3D感知与量测检测解决方案提供商。楚光三维依托华中科技大学仪器科学与技术长期积累,掌握多项核心专利,自成立以来已获峰瑞资本、元禾原点、光谷产投等头部机构数千万元投资。


行业现状


随着终端需求和制造工艺的不断提升,集成电路、新能源、电子制造、面板显示、微机电系统等高端制造领域,不断出现富含不同材料、不同工艺、不同反射率和粗糙度区域,同时又跨微米、亚微米到纳米精度要求的宽动态复杂微纳结构。这些微纳结构的加工质量直接影响相关产品的功能和性能,亟需有效的精密检测方法和仪器,以实现其制造质量控制和工艺分析。但微纳检测领域依赖进口设备,存在成本高、效率低、适用性差、不开放等问题,严重制约国内高端制造产业发展。

为解决新材料、新工艺领域的微纳米表征观察分析及非接触式粗糙度分析难题,楚光三维基于全自主“面共焦3D显微成像系统技术”,研制打造出革命性3D显微成像产品——面共焦3D显微传感器、面共焦3D显微镜/轮廓仪。




产品技术原理


根据宽场显微成像原理,利用结构光照明调制被测物体的表面信息,除去离焦信号干扰,通过垂直轴向扫描得到微观表面3D形貌。同时适用于特征复杂表面(如散射表面)和光滑表面,根据应用场景,可灵活调整Z轴精度覆盖1nm至1μm区间。







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