专家访谈汇总：中国将接管全球机器人主导权

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光刻机的技术不断进步，尤其是在 EUV（极紫外）光刻技术 方面，随着芯片制程的不断缩小，EUV光刻机的需求和应用逐步增加。

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根据瑞利准则，光刻机的分辨率越高，其能够清晰投影的最小图像尺寸就越小，从而支持更先进的制程节点。

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光刻机是一个高度精密的系统，主要由光源、光路系统、物镜、工件台、测量系统、聚焦系统、对准系统等部分组成。

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根据ASML的预测，到2030年全球半导体销售额预计超过1万亿美元，2025-2030年间，全球晶圆厂设备支出的年复合增长率（CAGR）预计为9%。

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光刻机作为半导体设备中占比最大的一类，预计将继续保持强劲需求，2025-2027年，全球300mm晶圆厂设备支出预计分别为1232亿美元、1362亿美元和1408亿美元。

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上海微电子 作为国内唯一生产高端前道光刻机整机的公司，已实现90nm光刻机的量产，未来有望突破先进制程，加速国产化进程。

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MEMS传感器 集成微型机械、电路和控制器，具有微米级甚至纳米级尺寸，具备高灵敏度、响应速度快、尺寸小、成本低等优势。

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随着技术发展，传感器的整体趋势是向多维度、高精度、高集成度和高延展性发展，尤其是高维力矩传感器和高维触觉传感器的研究重点逐渐上升。

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传感器产业具有品类繁多、单一传感器产值低等特点，因此，产业的发展更注重融合和集成，单靠单一技术突破难以满足市场需求。

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根据GGII的预测，2024年全球人形机器人市场规模将达到10.17亿美元，到2030年将增长至150亿美元，年复合增长率（CAGR）超过56%。

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2024年全球智能传感器市场规模预计达到520.4亿美元，2024年中国智能传感器市场规模将达到1551.2亿元。

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中国MEMS传感器行业正在进入“规模扩张”向“质量升级”的关键阶段，预计到2031年，中国MEMS市场将达到2593.76亿元。