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iNature  · 公众号  ·  · 2024-05-30 09:52

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二维(2D)半导体的垂直三维集成具有很大的前景,因为它提供了扩展 z 轴中的逻辑层的可能性。事实上,垂直互补场效应晶体管(CFETs)用这种混合维异质结构,以及具有不同载流子类型的异质-2D层,最近已经被证明。 然而,到目前为止,缺乏一种可控的掺杂方案(特别是p掺杂WSe 2 和MoS 2 。在二维半导体中,最好以稳定和非破坏性的方式,极大地阻碍了互补逻辑电路的自下而上缩放。

2024年5月29日,山西大学韩拯、北京大学侯仰龙、中国科学院大学物理科学学院周武、中国科学院金属研究所李秀艳、辽宁材料实验室Wang Hanwen共同通讯在 Nature 在线发表题为“ Van der Waals polarity-engineered 3D integration of 2D complementary logic ”的研究论文, 该研究表明,通过将过渡金属二硫族化合物,如MoS 2 ,置于范德华(vdW)反铁磁绝缘体氯化铬(CrOCl)上,MoS 2 中的载流子极性可以通过强vdW界面耦合很容易地从n型重新配置为p型。

由此产生的带对准产生的晶体管室温空穴迁移率高达约425 cm2 V −1 s −1 ,开/关比达到10 6 ,空气稳定性能超过一年。基于这种方法,进一步演示了垂直构建的互补逻辑,包括6层vdW的逆变器、14层vdW的nand和14层vdW的SRAMs。 极性工程p型和n型二维半导体通道(有或没有vdW嵌入)具有鲁棒性,适用于各种材料,因此可能为未来基于二维逻辑门的三维垂直集成电路提供启发。


在众多有利的特性中, z 维堆叠的能力-原则上无限层数-被认为是半导体范德瓦尔斯(vdW)纳米电子学最迷人的前景之一。这种自底向上的三维(3D) vdW可积性方法可能为在所谓的后摩尔定律时代继续缩放晶体管提供。另一种方法,因为硅技术正在接近其进一步缩小晶体管横向尺寸的物理极限。事实上,几十年来,从第一个平面场效应晶体管(FET)到FinFET,再到最先进的栅极全方位FET,硅半导体的缩放一直遵循平面内策略,而实现3D可积性仍然极具挑战性。 虽然电极的三维互连已经在现代硅集成电路中得到了广泛的应用,但基本的逻辑门仍然局限于硅衬底的表面,不能排列成多层。其他两个芯片面对面结合的尝试需要超高精度的对准,并且在 z 维度上的空间增益并不令人满意。 同时,多层3D闪存(3D NAND)由水平和垂直位和字线之间的正交交叉结点(形成浮栅存储器)组成,但不满足电路自由设计的需要。
最近,将vdW半导体堆叠成3D垂直电路一直是人们不断努力追求的目标。相当大的带隙和无悬键表面,加上高载流子迁移率和最终尺度(小于1nm)的优秀静电控制,使二维(2D)半导体成为垂直3D集成的理想候选者。据预测,先进的单片3D集成电路具有快速的层对层信号传输和高效的散热,将提供更高的集成密度。然而,在应用方面,由于难以获得n型和p型极性的可控掺杂,2D半导体的3D集成电路在很大程度上受到限制,这是互补逻辑的基础。 事实上,虽然n型二维半导体在电性能方面正在迅速发展,但对于WSe 2 和MoS 2 等二维半导体来说,只有少数p掺杂策略是已知的。使用方法包括化学掺杂剂,接触工程,或氧化涂层。
半导体电路的垂直缩放与平面缩放(图源自 Nature
该研究设计了一种简单且非破坏性的掺杂方法,通过vdW界面耦合以可控的方式重新配置二维半导体的载流子极性。与通常表现为n型的过渡金属二硫化物(TMDs)(包括MoS 2 、WSe 2 和MoSe 2 )与少层CrOCl界面不同,TMDs系统地转变为p型,并表现出优异的空气稳定性。密度泛函理论(DFT)计算表明,这种界面耦合引起的极性反转是电荷从TMDs转移到CrOCl的结果,随后在CrOCl的表面状态发生了微妙的 e-e 相互作用,这应该是TMDs与具有高功函数和表面带足够大有效质量的层状绝缘体之间的界面上的普遍效应。 该研究的掺杂策略可以用于垂直制造自补充逻辑器件,为半导体电路的先进3D集成的垂直缩放路线提供了线索。

原文链接:
https://www.nature.com/articles/s41586-024-07438-5

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