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硅基光电技术

中科院半导体所  · 公众号  ·  · 2024-06-02 17:40

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文章来源: C Lighting

原文作者: 王凯(WangK)


长晶炉广泛应用于单晶硅、蓝宝石等行业,其中采用提拉法制备晶体的过程中,需要在晶体长大上升时,在已成形的晶体上方施加一定的拉力,确保晶体生长不偏移,使晶体尺寸受控。


长晶炉提拉绳使用环境特殊,使用条件复杂,只有使用由多股钨丝绞合而成的钨丝绳,质量才有保障。 钨丝绳由抗下垂钨丝缠绕而成,在机械性能和高温性能两个方面都具备一定的优势。



高熔点

长晶炉内为真空环境,钨丝绳在工作中最高温度超过1000℃,而钨的熔点非常高,约为3422°C,这使得钨丝绳能够在单晶炉中极端的高温环境下保持稳定。

高温强度

钨丝绳在高温下仍能保持较高的机械强度,这对于在高温下提拉硅晶体非常关键。为了同时保证钨丝从单根绕制成多股的过程中的成品率和效率,及绕制好的钨丝绳具备较好的高温稳定性,一般钨丝不使用纯钨丝,而用抗下垂钨丝。


耐腐蚀性

钨丝绳具有良好的耐腐蚀性,蒸汽压低、挥发物极少,不会对制备的晶体造成污染,能够抵抗单晶生长过程中可能遇到的各种化学腐蚀,是长晶炉中提拉绳的首选。

耐磨性

钨丝绳刚性大,扭转应力较低,呈现不旋转特性,耐高温无磁性,超柔软,耐疲劳,抗腐蚀,无延伸,抗拉强度大,适合在单晶炉中长时间使用而不易磨损。

良好的导热性

钨丝绳的导热性能较好,有助于在晶体生长过程中保持温度的均匀性。

纯度高

钨丝绳通常具有很高的纯度,这有助于减少晶体生长过程中的杂质污染。

可塑性

钨丝绳可以根据需要加工成不同的形状和尺寸,以适应不同的单晶炉设计。

END


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不代表中国科学院半导体所立场




编辑:知名不具魏同学

责编:六块钱的鱼

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