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SMIC向ASML订购新型EUV光刻机 2019年交货

芯师爷  · 公众号  ·  · 2018-05-16 18:23

正文


日本新闻网站Nikkei Asian Review引述消息称,全球最大的芯片机器制造商、荷兰的阿斯麦(AMSL)证实, 中国向荷兰订购一台最新型的使用EUV(极紫外线)技术的芯片制造机器光刻机,订货单位是 中国厂商SMIC。 这台机器价值 1.2亿美元, 与其去年净利润1.264亿美元大致相当。消息来源称,这一设备预计将于2019年年初交付。


世界上很多著名芯片商如Intel、 Samsung 和TSMC(台积电)等,都已经开始试验使用这种EU V机器生产芯片,估计今 年年底可以生产出第一批成品。


此外,关于基于瓦森纳协议(Verdrag van Wassenaar),荷兰不能出售光刻机给中国的传言。ASML表示,出售光刻机给中国,并没有违反瓦森纳协议的精神。


ASML:现代芯片不可或缺的支持者


阿斯麦公司ASML Holding NV创立于1984年,是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制造商。 前称ASM Lithography Holding N.V.,于2001年改为现用名,总部位于荷兰费尔德霍芬,全职雇员12,168人,是一家半导体设备设计、制造及销售公司。

阿斯麦公司为 半导体生产商提供光刻机及相关服务, TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。

目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔,三星,海力士,台积电,联电,格芯及其它半导体厂。随着摩尔定律的发展,芯片走向了7nm以下,这就需要更高级的EUV光刻系统,全球只有ASML的NXE:3400B能够满足需求。

ASML的光刻机怎样帮芯片助力?我们可以看一下ASML官方的介绍:

简单来说,我们制造的光刻设备是一种投影系统。这个设备由50000个零件组装而成。

实际使用过程中,则通过激光束被投穿过一片印着图案的蓝图或光掩模,光学镜片将图案聚焦在有着光感化学涂层的硅晶圆上,当未受曝光的部分被蚀刻掉时,图案随即显现…

此制程被一再重复,用以在单个芯片上制造数以十亿计的微型结构。晶圆以2纳米的精准度互相叠加,并加速移动,快如闪电,达到这种精确度可谓高科技,要知道,即使头发丝也有十万纳米,2纳米的精细可想而知。

未来,只有他的EUV光刻机能够帮助芯片接续微缩,因此这些设备纵使卖到上亿欧元,都能被客户所接受。


当前半导体制程已经微缩到10纳米一下,大家希望极紫外光微影设备(EUV) 能协助制程向前发展。2017年7月份艾司摩尔曾经报告指出,已经积压了多达21 台EUV 的订单,未来 艾司摩尔的压力还是很大。




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