中芯国际从荷兰进口的光刻机来了！

半导体行业资讯 · 公众号 · 半导体 · 2020-03-07 18:04

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据羊城晚报报道，3月4日早上8点不到，中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司从从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区，据了解，这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。

截至3月4日，深圳出口加工区内企业复工复产率已达90%。目前，深圳海关已全面推广进出口货物“提前申报”通关模式，进口覆盖所有企业，出口只要是一般信用以上企业都可以按“提前申报”模式报关。

中芯国际表示，坪山海关一系列服务措施，保障设备第一时间进入厂区完成安装进入生产，生产线扩容后全年预计可为企业增加10%左右的营收。

对于产业内的人士来说，光刻机是最重要的核心内容之一，目前全世界最先进工艺的光刻机垄断集中在荷兰ASML、日本佳能、尼康手里。

光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，制造和维护均需要高度的光学和电子工业基础。光刻机工作原理跟照相机类似，不过它的底片是涂满光刻胶的硅片，各种电路图案经激光缩微投影曝光到光刻胶上，光刻胶的曝光部分与硅片进行反应，将其永久刻在硅片上，这就是芯片生产最重要的步骤。

另外值得注意的是，根据中芯国际近期发布的公告显示，其已经花费17亿美元分别向泛林团体、应用材料、以及东京电子购买半导体设备。其中，向泛林团体发出的购买单总金额约6亿美元；应用材料购买单的总金额为5.43亿美元，东京电子购买单总金额应用材料购买单的总代价为5.43亿美元。

资料显示，中芯国际总部位于上海，拥有全球化的制造和服务基地。在上海建有一座300mm晶圆厂和一座200mm晶圆厂，以及一座控股的300mm先进制程晶圆厂在建设中；在北京建有一座300mm晶圆厂和一座控股的300mm先进制程晶圆厂；在天津和深圳各建有一座200mm晶圆厂；在江阴有一座控股的300mm凸块加工合资厂。

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