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国内首条8英寸集成电路装备验证工艺线在长沙高新区正式开工

第三代半导体产业联盟  · 公众号  ·  · 2018-11-30 18:06

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11月28日,国内首条8英寸集成电路装备验证工艺线在长沙高新区正式开工。该项目将助力长沙打造全国集成电路产业技术创新中心、市场应用中心、合作示范区,促进国产装备全面提升,实现集成电路装备自主可控。

图片来源:视频截图

军民融合8英寸集成电路装备验证工艺线项目总投投资25亿元,占地面积183亩、总建筑面积12.7万平方米。

项目以中国电子科技集团公司第四十八研究所为实施主体,主要建设一条8英寸集成电路装备验证工艺线,打造国家集成电路装备创新中心,建立并提供装备技术标准,为国内提供标准化集成电路装备,并为军民用芯片提供可信代工。

项目一期建成后将提供同时20台套设备在线的验证能力,年验证能力超40台。在此基础上,项目二期将进一步完善发展,形成12英寸集成电路装备的验证能力。项目预计2021年竣工投产,达产后预计年产值超过10亿元。

“该项目以整线工艺验证的模式替代过去的单台验证模式,彻底打通设备研制与工艺需求之间的通道,减少设备的开发周期和成本,推动集成电路装备的可持续发展。”中国电子科技集团公司第四十八研究所党委副书记、副所长孙勇说,该项目也是中国电科与湖南省、长沙市共同落实国家军民融合战略的强强联合。







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