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国产90nm的光刻机,能生产几纳米的芯片?答案或是22nm

深科技  · 公众号  ·  · 2023-03-15 18:45

正文

国产90nm的光刻机,能生产几纳米的芯片?答案或是22nm

随着人工智能、物联网等技术的快速发展,芯片成为了当今社会的核心产业之一。而其中最为关键的技术之一就是光刻技术,它能够通过高精度的光刻胶曝光制造出微米、纳米级别的芯片。然而,由于其技术门槛和制造成本的限制,目前全球仍有很少的企业能够独立研发和生产高精度的光刻机,ASML作为全球最大的光刻机生产商之一,一直占据着市场的主导地位。

然而,近年来,国内企业对于光刻技术的研发投入逐渐增加,不断推出新一代光刻机。尽管国内的光刻机分辨率显示还是90nm的,但是在实际测试中,该机型在精度方面非常优秀,甚至能够通过多次曝光,实现更小的芯片制造。据一些晶圆厂的实际测试数据,国产90nm的前道光刻机,通过两次曝光可以制造出45nm的芯片,而经过三次曝光,则最高可以达到22nm左右的水平。这个结果表明,在精度方面,90nm光刻机的性能已经非常接近更为先进的光刻机。

然而,一些人或许会好奇,有没有可能通过进一步提高曝光次数,制造出更小的芯片呢?理论上,是可以通过继续增加曝光次数来实现更小的芯片制造。但是,在实际操作中,这样的做法存在很多挑战和限制。首先,多次曝光会导致芯片的制造成本不断增加。其次,随着曝光次数的增加,曝光胶层的厚度也会不断增加,使得芯片制造的难度和成本也会不断提高。此外,曝光次数的增加还可能导致芯片质量下降、工艺变差等问题。因此,当前大多数光刻机制造商都并不鼓励多次曝光的方式来制造芯片。

所以,对于国内光刻机行业来说,虽然目前还无法与ASML相提并论,但已经在不断追赶和超越的道路上,取得了一定的成果和进展。未来,随着技术的不断创新和进步,国内光刻机行业的发展前景依然值得期待。







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