走进ASML工厂，看看顶级光刻机的庐山真面目

一颗小小的芯片上布满了密密麻麻的集成电路，其厉害之处就是这些电路微小到我们根本无法想象。而制造它们，“光刻机”是绕不开的终极神器。可以说，没有光刻机就没有芯片。在高端光刻机市场，荷兰ASML的光刻机一家独大，据说一台光刻机的价格就超过了10亿元。今天我们来看看光刻机的庐山真面目吧...

ASML的EVU芯片光刻机工作流程：

今天，科普专家ChemWhat带大家走进这家公司，看看其到底有何神通？单台卖价数亿的顶级光刻机又是怎样的？

阿斯麦公司ASML Holding NV创立于1984年，是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制造商。前称ASM Lithography Holding N.V.，于2001年改为现用名，总部位于荷兰费尔德霍芬，全职雇员12,168人，是一家半导体设备设计、制造及销售公司。

来源：前沿数控技术 直观学机械