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TFT-LCD技术及生产工艺流程简介(附AUO厂内实景)

光电与显示  · 公众号  · 硬件  · 2016-12-29 11:08

正文

 概述

  TFT(Thin Film Transistor)LCD即薄膜场效应晶体管LCD,是有源矩阵类型液晶显示器(AM-LCD)中的一种。 液晶平板显示器,特别TFT-LCD,是目前唯一在亮度、对比度、功耗、寿命、体积和重量等综合性能上全面赶上和超过CRT的显示器件,它的性能优良、大规模生产特性好,自动化程度高,原材料成本低廉,发展空间广阔,将迅速成为新世纪的主流产品,是21世纪全球经济增长的一个亮点。

  主要特点

  TFT的显示采用“背透式”照射方式——假想的光源路径不是像TN液晶那样从上至下,而是从下向上。这样的作法是在液晶的背部设置特殊光管,光源照射时通过下偏光板向上透出。由于上下夹层的电极改成FET电极和共通电极,在FET电极导通时,液晶分子的表现也会发生改变,可以通过遮光和透光来达到显示的目的,响应时间大大提高到80ms左右。因其具有比TN-LCD更高的对比度和更丰富的色彩,荧屏更新频率也更快,故TFT俗称“真彩”。

  相对于DSTN而言,TFT-LCD的主要特点是为每个像素配置一个半导体开关器件。由于每个像素都可以通过点脉冲直接控制。因而每个节点都相对独立,并可以进行连续控制。这样的设计方法不仅提高了显示屏的反应速度,同时也可以精确控制显示灰度,这就是TFT色彩较DSTN更为逼真的原因。

  主要优点

  随着九十年代初TFT技术的成熟,彩色液晶平板显示器迅速发展,不到10年的时间,TFT-LCD迅速成长为主流显示器,这与它具有的优点是分不开的。主要特点是:

  (1)使用特性好

  低压应用,低驱动电压,固体化使用安全性和可靠性提高;平板化,又轻薄,节省了大量原材料和使用空间;低功耗,它的功耗约为CRT显示器的十分之一,反射式TFT-LCD甚至只有CRT的百分之一左右,节省了大量的能源;TFT-LCD产品还有规格型号、尺寸系列化,品种多样,使用方便灵活、维修、更新、升级容易,使用寿命长等许多特点。显示范围覆盖了从1英寸至40英寸范围内的所有显示器的应用范围以及投影大平面,是全尺寸显示终端;显示质量从最简单的单色字符图形到高分辨率,高彩色保真度,高亮度,高对比度,高响应速度的各种规格型号的视频显示器;显示方式有直视型,投影型,透视式,也有反射式。

  (2)环保特性好

  无辐射、无闪烁,对使用者的健康无损害。特别是TFT-LCD电子书刊的出现,将把人类带入无纸办公、无纸印刷时代,引发人类学习、传播和记载文明方式的革命。

  (3)适用范围宽

  从-20℃到+50℃的温度范围内都可以正常使用,经过温度加固处理的TFT-LCD低温工作温度可达到零下80℃。既可作为移动终端显示,台式终端显示,又可以作大屏幕投影电视,是性能优良的全尺寸视频显示终端。

  (4)制造技术的自动化程度高

  大规模工业化生产特性好。TFT-LCD产业技术成熟,大规模生产的成品率达到90%以上。

  (5)TFT-LCD易于集成化和更新换代

  是大规模半导体集成电路技术和光源技术的完美结合,继续发展潜力很大。目前有非晶、多晶和单晶硅TFT-LCD,将来会有其它材料的TFT,既有玻璃基板的又有塑料基板。

  TFT Process(薄膜晶体管的制程)

  1、Array Process(阵列制程)











以AUO为例,TFT-LCD面板工厂的制造工艺流程实景


简单说,TFT-LCD面板可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶,上层的玻璃基板是与彩色滤光片(Color Filter) 结合,而下层的玻璃则有电晶体镶嵌于上。 当电流通过电晶体产生电场变化,造成液晶分子偏转,借以改变光线的偏极性,再利用偏光片决定画素(Pixel)的明暗状态。 此外,上层玻璃因与彩色滤光片贴合,形成每个画素(Pixel)各包含红蓝绿三颜色,这些发出红蓝绿色彩的画素便构成了面板上的影像画面。

TFT-LCD的三段主要的制程:

前段Array

前段的Array 制程与半导体制程相似,但不同的是将薄膜电晶体制作于玻璃上,而非矽晶圆上。

中段Cell

中段的Cell ,是以前段Array的玻璃为基板,与彩色滤光片的玻璃基板结合,并在两片玻璃基板间灌入液晶(LC)。

后段Module Assembly (模组组装)

后段模组组装制程是将Cell制程后的玻璃与其他如背光板、电路、外框等多种零组件组装的生产作业。

TFT-LCD面板制作流程

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)模块

薄膜晶体管液晶显示器模块

TFT-LCD:三明治的构造

液晶显示器的构造如同三明治一般,将液晶夹在两片玻璃基板之间,这两片玻璃基板就是TFT Array玻璃与彩色滤光片。 TFT Array玻璃上面有无数的画素(pixel)排列,彩色滤光片则是画面颜色的来源,液晶便夹在TFT Array以及彩色滤光片之间。 当电压施于TFT(晶体管)时,液晶转向,光线便穿过液晶在面板上产生一个画素,而此光源则是由背光模块负责提供。此时,彩色滤光片给予每一个画素特定的颜色。结合每一个不同颜色的画素所呈现出的,就是面板前端的影像。

TFT-LCD:三明治的构造

经过300道以上的制程产生

TFT-LCD必须在精密的无尘室内,经过300道以上的制程生产出来。无尘室的洁净度,最高等级可达「10 」,即是在无尘室环境内,每立方尺只有10颗粉尘。

经过300道以上的制程产生

TFT-LCD 工厂—— 世代与尺寸

TFT-LCD 工厂从过去的1代厂演进到现今的7.5代厂,各世代厂房的差别就在于玻璃基板的尺寸。玻璃基板越大,便能切割出大尺寸的面板。举例来说,一片7.5代玻璃基板尺寸达195公分 X 225公分,其大小更甚于一张加大的双人床,它可以被切割成八片42吋面板,或是6片46吋面板。

TFT-LCD 工厂—— 世代与尺寸

TFT-LCD 前段制程——Array

TFT-LCD的制造过程可分为三大阶段: 前段Array, 中段Cell以及后段模块组装。前段的 Array 制程与半导体制程相似,但不同的是将薄膜晶体管制作于玻璃上,而非硅晶圆上。

TFT-LCD 前段制程——Array

TFT-LCD 中段制程—— Cell

中段的Cell ,是以前段TFT Array的玻璃为基板,与彩色滤光片的玻璃基板结合,并在两片玻璃基板间滴上液晶后贴合, 再将大片玻璃切割成面板。

TFT-LCD 中段制程—— Cell

TFT-LCD 后段制程——模块组装

后段模块组装制程, 是将Cell贴合并切割后的面板玻璃, 与其他组件如背光板、电路、外框等多种零组件组装的生产作业。

模块组装