韩国AMOLED核心设备配件国产化计划曝光，涉及蒸镀机、PECVD、ALD、LLO.....

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韩国政府将开发用于有机发光二极管(OLED)工艺设备的核心零部件国产化的技术。这是为了在主要设备中对性能产生核心影响的同时，选择进口依赖度较高的配件来提高自主度。此次能否成为进一步提高韩国国内零部件生态系统竞争力的垫脚石，备受关注。

韩国产业通商资源部即将启动“OLED工艺设备核心零部件技术开发”项目，即，在用于主要OLED设备的零部件中选定海外依赖度较高的产品，并提高自主度。

今年5月结束了企业参与受理工作，计划在本月签署正式协议。这是面板-设备-零件企业共同参与技术开发的形态。

从今年到2022年，该项目将在四年内共投资222亿韩元（约合1.3亿人民币）。在进口依赖度较高的核心零部件中，除了显示器之外，还以能够将产品扩大适用到半导体、太阳能、发光二极管(LED)等多种领域等波及效果较大的产品为中心进行了选定。

当一家零部件公司进行研发时，设备公司进行初步可靠性评估，最终由面板制造商使用国内部件，并对设备性能进行最终评估。选定了2种公用零件，二种化学汽相沉积（PECVD）和原子层沉积（ALD），3种蒸镀设备零件，1种干蚀刻零件、1种清洁用零件等。

产业第一过去一年△OLED章PECVD·成本为90kW的RF功率系统蚀刻△膜沉积设备大型热水罐技术△LTPS（低温多晶硅）膜可拆卸如在制造设备紫外线激光束对原料进料（梁）△OLED光学系统的开发过程，提高锚设备共包括四个核心零部件业务绩效考核和评估支持发展。（重复删除）

产业部将首先从今年开始，开发OLED用PECVD使用的90千瓦以上的大容量RF电源系统、CVD装备使用的canister、在LTPS(低温多晶体硅)基板上PI薄膜剥离设备中紫外线激光束(Beam)光学系统和支援OLED工艺设备核心零部件性能评价及开发评价法等4项事业开始起步。

其中，90千瓦以上的大容量RF电源系统，除了日本装备公司之外，其他还没有实现商品化。虽然目前的主力是30千瓦级，但战略是，先进行投资确保基础技术，并在世界显示器市场上拉大技术差距。美国AE、MKS、日本乔山、德国huttinger等在这一领域拥有相当水平的技术。

另外，还将推进加强CVD装备使用的canister技术力量。caniter是在原料气化后形成薄膜时，将已气化的原料维持在高温状态的容器。为了供应适当数量的原料，需要维持适当水平蒸汽压强的技术。虽然OLED设备使用的是大容量天然气，但没有一家韩国企业提供对此进行优化的caniter。

为了形成均一度高的激光束，还将开发高激光束的光学系统。光学系统的核心是设计曲率和形状不同的多种镜片，并调整镜片间的距离等，使之优化，从而确保光束质量。该产品在光学学界的重要性非常高，占设备价格的30%至40%。

目前，激光剥离（LLO）设备的光学系统全部从德国进口，激光退火（ELA）全部从美国进口。

业界指出，应该系统地对外国产依赖度较高的设备、配件进行全数调查，并制定中长期发展蓝图。随着最近因日本政府的出口限制日益多样化，国产化的必要性不断增大，有人提出了应该仔细观察核心设备、配件自主度的必要性。

对此，产业部相关人士解释说:“企业对设备核心配件的需求各不相同，种类也很多，而且很复杂。首先，具有优先权的国产化需要从一个急迫性较高的领域开始，今后再讨论扩大事业的方案。” （译/OLEDindustry 来源：ETnews ）