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防微振基座简介

洁净工程联盟 · 公众号 · 科技创业科技媒体 · 2025-02-08 11:20

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编者按

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这里是洁净厂房设计和施工俱乐部，今天分享的是

按照《厂房楼盖抗微振设计规范》 GB50190-93及《电子工业防微振工程技术规范》 GB 51076-2015相关要求，梳理相关结构防微振措施，如下

一、结构布置及设备布置相关要求

6.2.3 主体结构的防微振设计应符合下列要求 ：
1 集成电路制造厂房前工序、液晶显示器件制造厂房、光伏太阳能制造厂房、纳米科技建筑及各类实验室等建筑宜采用小跨度柱网，工艺设备层平台宜采用钢筋混凝土结构。平台与周围结构之间宜设隔振缝。
2 防微振工艺设备层平台的设计应符合下列要求：
1)平台下的柱网尺寸应以0.6m为模数，跨度不宜大于6m ；
2)平台宜采用现浇钢筋混凝土梁板式或井式楼盖结构，亦可采用钢框架组合楼板结构；
3)混凝土平台的现浇梁、板、柱截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-1的规定；

表6.2.3-1 梁、板、柱截面的最小尺寸

柱截面（mm×mm）	主梁高跨比	梁板式楼盖		井式楼盖
柱截面（mm×mm）	主梁高跨比	板高跨比	次梁高跨比	板厚（mm）	次梁高跨比
600×600	1/8	1/20	1/12	150	1/15

4)防微振工艺设备平台现浇华夫板次梁的间距为1.2m时，截面最小尺寸宜符合表6.2.3-2的规定；

表6.2.3-2 华夫板截面的最小尺寸

次梁高跨比	主梁高跨比	板厚（mm）	板开洞直径d（mm）
1/10	1/8	180	300

5)采用钢框架-组合楼板结构的防微振工艺设备层平台，次梁间距不宜大于3.2m ，钢梁、组合楼板截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-3的规定；

表6.2.3-3 钢梁、组合楼板截面的最小尺寸

次梁高跨比	主梁高跨比	板厚（mm）
1/18	1/12	250

6)防微振工艺设备层平台华夫板的开孔率应满足洁净设计要求，不宜大于30％。
3 当采用混凝土结构的建筑物超长时，不宜设置伸缩缝，而应采用超长混凝土结构无缝设计技术，并应采取降低温度伸缩应力的措施。
4 根据防微振需要，可在平台下的部分柱间设置钢筋混凝土防微振墙，墙体宜纵横向对称布置，厚度不宜小于250mm，墙体不宜开设孔洞。
5 当屋盖多跨结构的中柱与工艺设备层平台之间设缝时，在非地震区，缝宽不应小于50mm；在地震区，缝宽不应小于100mm，且应符合现行国家标准《建筑抗震设计规范》GB 50011中防震缝的有关规定。

6.2.4 精密设备及仪器的独立基础设计应符合下列要求：
1 地面上设置的精密设备及仪器，基础底面应置于坚硬土层或基岩上。其他地质情况下，应采用桩基础或人工处理复合地基；
2 精密设备及仪器受中低频振动影响敏感时，基础周围可不设隔振沟；
3 精密设备及仪器的基台采用框架式支承时，宜采用钢筋混凝土框架，台板宜采用型钢混凝土结构，其周边应设隔振缝；
4 工艺设备层平台上设置的精密设备或仪器宜采用防微振基台，台板宜采用型钢混凝土结构，厚度不宜小于200mm。

7.1.1 有抗微振要求的多层厂房，设备的布置应符合下列规定∶

（1）厂房中有强烈振动的设备或对振动很敏感的设备和仪器。宜布置在厂房底层；

（2）厂房中有较大振动的设备或对振动敏感的设备和仪器，宜靠近承重墙、框架梁及柱等楼盖局部刚度较大的部位布置；

（3）厂房内同时布置有较大振动的设备和对搬动敏感的设备、仪器时，宜分类集中，分区布置，并利用厂房变形缝分隔；

（4）对振动敏感的设备和仪器，应远离有较大振动的设备；

（5）厂房中有水平扰力较大的设备的，宜使其扰力方向与厂房结构水平刚度较大的方向一致。

7.1.2 多层厂房中设有对振动敏感的设备和仪器时，不宜设置吊车。

7.3.5 厂房底层设有强烈振动的设备时，应设置独立基础，并应与厂房基础脱开。

二、计算要求

按照厂房楼盖抗微振设计规范GB50190-93相关规定进行自振频率及竖向振动加速度验算。

三、构造要求

1、砌体结构通用规范 GB 55007-2021中关于存在振动时结构中砌体相关规定

3.2.9、下列部位或环境中的填充墙不应使用 轻骨料混凝土小型空心砌块或蒸压加气混凝土砌块砌体 ：

1建（构）筑物防潮层以下墙体；
2长期浸水或化学侵蚀环境；
3砌体表面温度高于80℃的部位；
4长期处于有振动源环境的墙体。

4.2.5、厂房、仓库、食堂筹空旷单层房屋应按下列规定设置圈梁：
1砖砌体结构房屋，檐口标高为5m~8m时，应在檐口标高处设置一道圈梁，檐口标高大于8m时，应增加设置数量；
2砌块及料石砌体结构房屋，檐口标高为4m～5m时，应在檐口标高处设置一道圈梁，檐口标高大于5m时，应增加设置数量；
3对有吊车或 较大振动 设备的单层工业房屋， 当未采取有效的隔振措施时，除应在檐口或窗顶标高处设置现浇混凝土圈梁外，尚应增加设置数量 。

参考文献

电子工业防微振工程技术规范 GB 51076-2015

厂房楼盖抗微振设计规范GB50190-93

动力机器基础设计规范GB50040-96

砌体结构通用规范 GB 55007-2021

1 ．引言

近年来高科技产业在国内经济发展上有着举足轻重的作用，半导体晶片、 TFT-LCD 平面显示等大型的厂房也在国内不断的兴建，规模也在不断的扩大。随着各种高科技产业制程越来越精密，相关的仪器设备对于环境振动隔离的要求也越来越严格。在半导体产业有许多设备都必须考虑降低环境振动，如检验设备 SEM 、 SPM 、 TEM 、曝光设备 scanner 、 stepper 、椭圆偏光仪等等，几乎每一台设备都需要安装隔振系统。正因为如此，洁净室工艺设备防微振平台施工显现的尤为重要。

2 ．工法特点

2.1 需要设立防微振动平台的设备是比较精密的设备，一般放置在洁净室内，施工作业时需要注意安全、清洁；本工法采用材料均为钢结构，不易产尘，从长期使用角度讲有利于洁净度的保持。

2.2 随着生产工艺的不断提高，生产设备对其基础的振动要求也越来越高，厂房内的活动地板已经不能满足，需要安装隔振系统。防微振动平台的设立，解决了这个问题。

2.3 由于平台与厂房内的活动地板是相隔开的，大大堵隔了除设备本身以外的其他振动，减少了环境振动对设备的影响，使得生产能够平稳高效的运行。因而防微振动平台也被形象得称为独立基础。

2.4 钢平台的施工相对其他平台而言，施工周期比较短，安装比较简单，能更早地使生产设备投入生产。拿混凝土平台做对比，其安装时间一般在 4~6 周，而钢平台的安装周期一般在 2~3 周，施工的时间上缩短了一半。而且钢平台在厂房内运输时为散件，无需整件运输，相对比较安全，减少更为复杂的安全保护措施。

3 ．适用范围

适用于经过调试并已经具备一定洁净度等级的洁净厂房内，对基础有一定微振动要求的设备。

4 ．工艺原理

将平台设立在地面或者格栅板上，与原有的活动地板分离，使之不与活动地板相互传递振动，阻隔相邻设备所产生的防微振。通过自身的结构构造，将防微振动控制在振动规范或设备对基础的要求之内，能够独立吸收来自设备本身运作产生的振动的能量，避免洁净室建筑结构（比如楼板、梁等）所产生的防微振动对其产生影响。

5 ．施工工艺流程及操作方法

5.1 施工工艺流程

施工前期准备 → 确定设备以及平台安装位置 → 平台加工 → 平台搬运及组装 → 平台试验

5.2 操作方法

5.2.1 施工前准备

施工前的准备工作尤为重要，他关系到后面的安装的精确程度。施工前对图纸进行认真解读和审核，防微振动平台一般采用不锈钢材料和镀锌材料制作。对加工件的要求很高，要求加工件精确到位，这样才能保证安装的一次性完成。具体作业流程如图 5.2.1 所示

施工中应该注意以下几点：

根据平台大小、安装精度、劳动强度来配备所需人员，并理清楚个人员之间的劳作关系，制定组织结构，明确工作的内容和责任。针对平台安装进行技术交底，对进入洁净厂房施工作业的人员进行洁净室施工作业培训、安全教育。

人员配置完成后，分解图纸，统一规划。

需要加工的零部件比较多，将图纸上的零部件编号。

根据图纸，配置所需的机具，要使用大型加工机具的（如：电子数控机床等），需与相应的协作单位联络，确定加工周期。

组装件连接方式尽可能以螺丝连接为主，因为洁净厂房内一般不采用焊接作业，而且洁净厂房里面设备比较多，整件不易搬运。

5.2.2 确定设备以及平台安装位置

在前期的准备工作完成后，班组作业人员需要到洁净室内与工艺设备工程师一起确定设备的位置，并将平台的相对应的位置确定好，并做好标示。再将确定的位置用线锤反到地面或者格栅网板（也有称华夫板）上（如图 5.2.2-1 所示），做好标示。再右平台的位置确定平台立柱的位置，并核实其位置可使立柱稳固。

设备位置的确定以及反线的精确度要求控制在 ±1mm 内，精度控制的越好，安装就会越准确。

防微振基座简介

正文

按照厂房楼盖抗微振设计规范GB50190-93相关规定进行自振频率及竖向振动加速度验算。

厂房楼盖抗微振设计规范GB50190-93

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