专栏名称: 科创板日报
《科创板日报》是新型主流媒体平台,专注新兴产业与资本,是科创板、新兴产业及资本的重要舆论前沿,深度覆盖新一代信息技术、半导体、生物医药、新能源、新材料、基金等,提供媒体、数据、资源、投行等产品体系。
目录
相关文章推荐
芋道源码  ·  Minio + Docker ... ·  昨天  
91运营网  ·  DeepSeek写爆款短视频文案 ·  2 天前  
芋道源码  ·  18.6k ... ·  2 天前  
芋道源码  ·  java 插入式注解的打开方式! ·  2 天前  
91运营网  ·  91运营网vip会员早鸟票抢座ing!! ·  3 天前  
51好读  ›  专栏  ›  科创板日报

国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院澄清来了

科创板日报  · 公众号  ·  · 2023-09-18 19:32

正文

近期,各大视频平台疯传一条消息,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。HEPS是通过加速器将电子束加速到6GeV,然后注入周长1360米的储存环,用接近光速的速度保持运转。


近期,各大视频平台疯传一条消息,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。 还在视频中配了 这样一张图,表示图片中的项目就是光刻厂。

该项目是国产光刻机工厂?NO!这是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)!

关于北京高能同步辐射光源HEPS坐落于北京怀柔雁栖湖畔,是国家“十三五”重大科技基础设施。它是我国第一台高能量同步辐射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步辐射光源之一。早在2019年就开始建设,将于2025年底投入使用。

北京高能同步辐射光源项目实拍图

HEPS是干嘛用的呢?它的作用是通过加速器将电子束加速到6GeV,然后注入周长1360米的储存环,用接近光速的速度保持运转。电子束在储存环的不同位置通过弯转磁铁或者各种插入件时,就会沿着偏转轨道切线的方向释放出稳定、高能量、高亮度的光,也就是同步辐射光。

简单的说,HEPS可以看成是一个超精密、超高速、具有强大穿透力的巨型X光机,它产生的小光束可以穿透物质、深入内部进行立体扫描,从分子、原子的尺度多维度地观察微观世界。HEPS是进行科学实验的大科学装置,并不是网传的光刻机工厂。

该项目由全国勘察设计大师、国投集团首席科学家娄宇带队、中国电子院多个技术科研和设计团队协同合作,从项目可研立项到项目落地。中国电子院攻克了多项技术和工艺难关,解决了项目不均匀沉降、微振动控制、超长结构设计、光伏板设计、精密温度控制、工艺循环冷却水系统、超复杂工艺系统等七大技术难题,实现了重大技术突破,指标控制达到了国际先进水平。

目前高能同步辐射光源配套工程已全面完工,向产生世界最“亮”的光又更近了一步。



推荐阅读








请到「今天看啥」查看全文