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ASML光刻机的权力斗争内幕

芯东西  · 公众号  ·  · 2024-05-28 12:14

正文

被迫站在聚光灯下的地球上最复杂机器。

最近半导体圈内有本大家很期待的新书,书名特别的短又特别的长。

这本书就是《Focus》(聚焦),副标题是“ASML之道,关于地球上最复杂机器的权力斗争内幕”(The ASML Way—-Inside the power struggle over the most complex machine on earth)。
此书首发荷文英文版,我看到国内出版社也已经签了中文版。但看完之后,忍不住泼一小盆冷水:因为按国内出版的严格要求,恐怕其中很大的篇幅甚至有可能五分之一的内容都得删改。
原本大家都认为这本书是关于ASML的完整传记,这么说虽然也没错,但作者集中火力在描述目前的科技冷战和大国博弈;以及ASML如何在夹缝中挣扎,在挣扎中变异。
书中拜登和特朗普大概各出现了30多次,荷兰首相吕特大概20次,所以你们也能猜到我们出现的次数也不少。
废话不多说了,这里做个小读后感。纯属个人分享,不喜欢的话可以使劲喷。

01 .


本书前三分之一看得稍微有点郁闷,因为对于看过《光刻巨人》的话这部分信息增量有点少。好在作者对《光刻巨人》里的类似内容都以极大的幅度简化处理了。
中间关于1995年上市后的内容,正好和《光刻机之战》系列文章产生了互动,其中一些不谋而合很有一种知音的感觉。
比如,作者同样认为ASML以不值的高价收购美国SVG,是为了打入英特尔。美国身份既帮助了ASML在EUV研发中获取了利益,又为今天被迫在对中国的问题上站队付出了代价。
又比如ASML向英特尔、三星和台积电出售股份其实是为了收购Cymer,在EUV绝路上孤注一掷。还有,对于林本坚对浸入式究竟有什么贡献,ASML官方一直是不提的。

02 .


关于书中的一些小花絮,我看得津津有味。
英特尔的一个工厂,很诡异地在夜间1-2点良率会降低,然后又会自动恢复正常,技术人员百思不得其解。最后发现,原来是附近农场的牛放屁所致。
真的是牛屁呦。
书中也没写为什么牛会集中在那个时间段放屁,但屁中的甲烷确实飘散在空气中最终进入了洁净室。英特尔最后只得花钱请农场搬走。
另外一个例子是关于风水。现在很多晶圆厂确实也很迷信的。
亚利桑那有个晶圆厂里光刻机一直出问题,但工程师怎么检测都是正常的。更诡异的是,厂其它设备也频出问题。
厂长听说这个厂是坐落在以前印第安的人墓地上,就请了风水师来看。风水师发现厂门口的一些花坛还是什么的混凝土有点像墓碑,得搬走。更神奇的是,这个巫师也穿上兔子服进了产线考察,他说亡灵们喜欢红色,得给他们些红色。
厂长把包装镜头的鲜红纸盒叠了叠放在光刻机上,问题真的奇迹般消失了。多年来没人敢去动那个盒子,甚至新的光刻机进场也被要求放红盒子。

03 .


在台积电的一个晶圆厂现场,也曾有过一个浸没式设备问题;每次重新启动后,它会莫名其妙地在接下来的两个小时内产出次品芯,然后什么都不用调就一切恢复正常。
技术人员经过几个月的研究才找出原因。每次当机器停机,会有五滴水滴在一层胶水上,导致其膨胀了几个纳米。这就足以使投影图案偏离正常。两小时后水分蒸发完,胶水恢复原状,使机器没有任何错误的痕迹。
类似这样的问题只有在工厂车间严酷的现实中才会暴露出来。即使经过多年的精心设计,这些机器面临的问题中有一半是难以想象的。
在疫情期间,也有个有趣的花絮。范登布林克(以下简称大马丁)不喜欢电话会议,他要亲自去台湾面对面和台积电唠嗑。我们都知道,那时各国或地区都有一些隔离政策,大马丁的宝贵时间可不能在隔离酒店里废掉。肿么办呢?
双方包下新竹的一座酒店,一半ASML员工住,一半台积电员工住,两者完全物理隔离。开会时他们才允许离开房间,在“大白”的监督下走专用通道到会议室。会议室中间是一块亚克力玻璃完整分隔,这样他们能看到对方,但病毒很难穿过去。

04 .


除了技术问题,ASML一直以来最大的问题就是缺钱。其中忽悠英特尔一段最为有趣。
我们在《三巨头为什么投资ASML》里也提过,英特尔投资是为了上18寸晶圆光刻机,他们对EUV非常不看好。ASML花那么大一笔钱收购Cymer,股东们原本不太想支持。大马丁着实忽悠了英特尔,装模作样研发18寸机,然后说如果想要得先下订单哟。
英特尔可不想被PPT忽悠,想先看到机器再说。在2013年初,大马丁有预谋地把台积电、三星和英特尔的技术老板搞到一起,让那两家当面对英特尔说,他们不打算玩18寸。
英特尔的老板被突然袭击搞懵了,还带这么耍赖的。要知道那时他们还如日中天呢,哪里轮得到亚洲的小愤青在标准上指手画脚。没想到,随后两个小愤青都超越了老大。
这本书里重点刻画的两个主角,是前几天刚退休的ASML CEO温宁克和大马丁。温宁克出身平平,开始只是个外部会计师,这里我们又看到了CFO当CEO的一个案例,但故事的结局是美好的。
温宁克的重要使命,就是给大马丁搞钱,为那些极为昂贵、失败率极高、回报遥遥无期的研发去搞钱。而大马丁呢,当然就是挥霍掉几亿十几亿的欧元去搞他的大玩具。这种配合听起来好像没什么了不起,但真了解现在上市公司治理结构和公众指标的话,才会知道这是多么的不同寻常。
据说大马丁于2006年SPIE会后在酒店里成功卖给三星一台EUV,约定2010年交货。三星要求100瓦功率,而大马丁当时才做到5瓦。看看他这胆子多大。
随后,2008金融危机就来了,芯片业崩盘。ASML被迫裁员约1/8,同时砍掉所有员工的13薪或年终奖减半,然后股价腰斩。
在这种时候,你才知道温宁克(时任CFO)对大马丁的EUV豪赌有多支持。甚至就因为那可怜的5瓦功率,台积电已经宣布下一代技术转向多电子束的Mapper(参阅《ASML和电子束光刻》)。
据书中认为,后来的救星是苹果,因为苹果的去三星化和用钱砸台积电,这才使得台积电下决心来赌EUV。
而三星要的这100瓦,ASML足足delay了七年才做到。

05 .


另外一件有趣的事,是蔡司如何帮着ASML对抗尼康的法律大战。
我们都知道通过双工台和浸入式,尼康在技术上已经很难翻盘了,所以他们后来搞起了专利战。毕竟人家玩了那么多年光刻,弄弄你侵权还是很轻松的。尤其ASML年轻的时候特别不重视专利,因此头上悬了一把剑。
一个熟悉的剧本是,ASML在荷兰的法院全胜,但在美国困难很大。美国法院的一招制敌,就是侵权就让你禁售。ASML反复求尼康和解,尼康死活不干。
这时蔡司骑着大白马出场了。作为百年巨头,相机专利那是一箩筐一箩筐的。蔡司伙同ASML告尼康相机侵权。你让我光刻机禁售,我让你相机禁售。
更神奇的是,蔡司居然推出了个叫ZX1的相机,一个在手机时代毫无竞争力产品。媒体都很困惑,这是啥玩意儿,要知道蔡司上一代相机还是胶卷呢。这个机器从来买不到,只做了几台样机给网红造势。
蔡司还为ZX1做了很多广告,因为要告尼康赔钱,它要证明自己确实有一款相机被侵权导致损失。这些广告显然都是给尼康看的。尼康真的有点慌了,最终同意了和ASML和解。然后蔡司的ZX1就消失了。

06 .


随着EUV需求的暴增,ASML的产能远远跟不上了,甚至DUV也由于其它层的需要和中国突发的需求供不应求。大马丁也曾天真地认为,把采购量double不就行了。
事实上,扩产暴露了ASML一系列的管理问题。
很多人都以为ASML一定是一个特别标准化的公司,这样才能造出世界上最精密的设备。事实上,也像其它大公司那样,试图推进KPI和系统流程标准化的ASML在疫情期间面临崩溃的境地。
激增的订单和数以万计的零件,迫使ASML上线了特别先进的自动化仓库5L。这个仓库有1公里长和10个足球场那么大,拥有各种自动机器人和自动货架。
结果这个系统在2021年一上线就卡死了,根本发不出货。过了一星期IT也没解决问题,员工只好都放假回家了。和其它大公司也很像的是,居然没人敢把这事汇报给老板。最后,温宁克带客人来参观发现仓库没人都惊呆了。
最后,ASML号召了数千员工不通过系统手动发货各种零件。5L带来的严重问题持续了超过三个月。那时严重的芯片短缺导致各个领域尤其汽车业备受打击, 芯片厂甚至宁愿接收未经测试的光刻机也不愿等待。
但与众不同的是,没有人因此被解雇,惩罚从来不是ASML文化的一部分。
ASML承认,高速发展的公司在组织和流程不可能是最优状态,动态地碰到问题解决问题更有效率。扯皮为什么没能提前预防问题发生,不如解决了就让它过去。大马丁是自由技术文化的代表,他对流程和KPI带来的低效和部门墙深恶痛绝。
大马丁很讨厌员工吹捧服从式向上管理,鼓励挑战和辩论。他知道只有这样才能让各种人才在其专长发挥最大的潜力,在这种氛围下不懂装懂地讲PPT会被质疑到死吧。

07 .


最后,书中关于中国的内容这里不方便多讲,咱简单截取一点来描述ASML如何在挣扎中变异。
在本书中,我们看到ASML和荷兰一直在努力对抗美国的出口管制,对于中国剧增的DUV订单竭力交付。为了应付近两年出货量倍增,ASML的员工数也急剧膨胀,到2023年有四分之一的员工是一年内的新员工。但是,在技术保密层面,ASML也做了急转弯。






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