中国KLA ！获5亿融资！

半导体行业联盟 · 公众号 · 半导体 · 2024-11-05 19:49

正文

睿励科学仪器完成近5亿战略融资，加速国产替代进程

芯榜消息，睿励科学仪器（上海）有限公司成功募集近5亿元战略资金，此次融资由金石投资与招商致远携手领投，并获得河南资产、金信资本及鼎青投资等多家机构的跟投支持。资金将重点投入于提升半导体先进制程光学量检测设备的国产替代水平，拓宽产品线，并增强市场拓展能力。（上海睿励科学仪器在获得中微半导体等重要企业的投资后，凭借其在集成电路工艺检测设备领域的卓越表现，被业界广泛赞誉为中国的KLA。）

睿励科学仪器（上海）融资概览：
1、成立：2005年，上海张江，半导体光学量检测领域先行者。
2、融资：近5亿战略融资，提升国产替代与产品多样化。
3、荣誉：国家级高新技术、专精特新“小巨人”等称号。
4、发展：吕彤欣博士创立，成功交付首台300mm设备，获中微半导体等重要投资。
5、产品：TFX膜厚/OCD、FSD/WSD/BriteSD缺陷检测，专利众多，获业界认可。
6、规划：将推3D AOI、TSV设备，强化光学量检测领域布局，预期五年快速增长。
7、投资方：看好睿励，期待加速发展，助力半导体自主可控。

一、融资5亿。国内首家，量检测设备开发企业

近日，睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励科学仪器”）宣布成功完成近5亿元的战略融资。本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等多家投资机构跟投。这笔资金将主要用于提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，进一步丰富产品种类，并加大市场开拓力度。

睿励科学仪器成立于2005年，是国内首批专注于半导体前道工艺国产设备的公司之一，特别是在量检测领域填补了国内空白。此次融资的成功，不仅彰显了市场对睿励科学仪器技术实力和市场前景的认可，也为公司的持续发展注入了强劲动力。通过融资，公司将进一步提升设备性能和产品质量，加速国产替代进程，助力中国半导体产业自主可控发展。

半导体检测量测设备领域，全球主要企业包括KLA（科磊）、应用材料、日立等，其中科磊市占率过半，为行业领导者。国内企业在该领域技术差距明显，前道检测领域主要企业有上海睿励、上海精测等。上海睿励获中微半导体等重要投资后，被业界称为中国的KLA。

二、创始人吕彤欣，航天系

上海睿励由吕彤欣于2005年创立。吕彤欣是开国上将吕正操的二子，1951年生，毕业于北京航空学院，曾在航天部工作。1986年，他赴美深造，获电机工程博士学位，并在美工作10年。2002年，吕彤欣回国，针对中国芯片量测设备领域的空白，迅速创立睿励科学仪器，成功填补了中国在芯片产业链中的量测设备空白。

自2005年成立以来，睿励科学仪器在半导体量检测领域取得了显著的成就。公司创始人吕彤欣博士曾是全球第一大量检测设备企业的研发科学家，拥有丰富的行业经验和技术积累。在他的带领下，睿励科学仪器汇聚了一支来自国际巨头和国内光学技术类公司的专业技术团队，致力于开发具有自主知识产权和核心技术的光学量检测设备。

经过多年的努力，睿励科学仪器已经成为国内半导体前道工艺量检测设备领域的领军企业。公司是唯一进入三星半导体产线的国产设备厂商，也是唯一为半导体芯片制造良率控制提供批量有图形光学缺陷检测设备的国产设备企业。此外，公司还荣获了国家级高新技术企业、专精特新“小巨人”企业等多项荣誉，展现了强大的研发实力和市场竞争力。

三、缺陷检测打破垄断，中国的KLA

在自研设备方面，睿励科学仪器取得了多项突破。公司推出的TFX3200系列、TFX4000系列等膜厚及OCD设备，以及FSD系列、WSD系列和BriteSD等缺陷检测设备，均达到了国际先进水平，实现了国产全替代能力。这些设备在200mm和300mm前后道全产线中得到了广泛应用，获得了良好的客户口碑。其自主研发的TFX3000系列产品已应用于28纳米生产线，正验证14纳米工艺，并进入国际领先芯片企业生产线。

特别是在缺陷检测领域，睿励科学仪器打破了国际厂商的垄断，推出了国内首台应用于半导体前道工艺过程的国产缺陷检测设备WSD。该设备不仅性能卓越，而且通过了28nm API验证，被多条300mm集成电路芯片产线和SiC产线采用。此外，公司还推出了国内首台纳米级明场缺陷检测设备BriteSD300，进一步丰富了产品线布局。

这些自研设备的成功推出，不仅填补了国内半导体量检测设备市场的空白，也为中国半导体产业的发展提供了有力的支持。通过不断提升设备性能和产品质量，睿励科学仪器正在加速推动国产替代进程，助力中国半导体产业实现自主可控。

当前睿励已有丰富的产品矩阵，同时与中微的刻蚀设备、薄膜沉积设备可以产生协同效应，未来睿励科学仪器一定会成为该领域的娇子。上海睿励科学仪器在获得中微半导体等重要企业的投资后，凭借其在集成电路工艺检测设备领域的卓越表现，被业界广泛赞誉为中国的KLA。

四、睿励科学仪器，完善光学量测和光学缺陷检测产品系列

睿励科学仪器将继续深耕集成电路芯片生产工艺检测设备市场，进一步完善光学量测和光学缺陷检测产品系列。公司将持续加大研发投入，提升技术创新能力和产品竞争力，为实现集成电路前道工艺检测设备国产化全面替代的目标而努力。

睿励科学仪器还将积极拓展国内外市场，加强与国内外知名企业的合作与交流。通过不断优化产品线布局和市场开拓策略，公司将进一步提升品牌知名度和市场占有率，成为中国半导体量检测设备领域的领军企业。

此次近5亿元战略融资的成功完成，为睿励科学仪器的未来发展提供了强有力的资金支持。公司将充分利用这笔资金，加速产品研发和市场拓展步伐，推动中国半导体产业高质量发展。同时，公司也将继续秉持“创新、协作、共赢”的理念，与合作伙伴携手共进，共同开创更加美好的未来。

睿励科学仪器：强化国产半导体检测设备竞争力

点击看：通线！天成先进总经理姚华：重磅发布“九重”技术平台，首个中文命名！