一、
光刻机（掩模对准曝光机）是制造芯片的核心装备。
它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。在整个半导体芯片制造过程中，光刻是最复杂工艺，光刻工艺的费用约占芯片制造成本的1/3左右，耗费时间占比约为40-50%，光刻工艺所需的光刻机是最贵的半导体设备。
1、茂莱光学（688502）
在光刻机领域，公司基于核心技术生产的光刻机曝光物镜用光学器件最大口径可达直径300mm，突破常规透镜尺寸和精度的指标要求。公司还通过旗下全资子公司间接参股上海微电子装备（集团）股份有限公司。
2
、张江高科（600895）
通过参股上海微电子等方式，间接参与光刻机相关业务。上海微电子是国内重要的光刻机制造商之一。
3、中芯国际（688981）
中国领先的半导体制造企业之一，一直在积极采购高端光刻机设备以提升其半导体制造能力。
4、晶方科技（603005）
专注高端封装，CMOS影像传感器晶圆级封装技术领先。通过子公司收购ASML的核心供应商之一Anteryon，从而布局光刻机相关业务。
5、新莱应材（300260）
国内少有的具备支持光刻机国产化能力的光学公司，产品广泛应用于光通信和光纤激光领域，部分光学器件及模组可应用于光刻机光学系统。
6、蓝英装备（300293）
公司能够为芯片、各类精密测量用光学部件等定制高端专业化的清洗设备及系统化解决方案，其产品在光刻机领域有应用。
7、奥普光电（002338)
据2023年3月15日互动易回复：子公司禹衡光学的高端光栅编码器填补了国内空白并达到国际同类产品先进水平，解决了国家在高端位移传感器领域的卡脖子问题，为国产替代、自主可控做出应有贡献。
8、大族激光（002008）
在光刻机领域具有较高的市场份额，是亚洲最大的激光加工设备生产商之一。虽然其主要产品为激光加工设备，但其在光刻机领域的布局也值得关注。
9、凯美特气（002549）
在电子特气领域具有显著优势，生产的超高纯气体和光刻气产品已通过多个国际头部企业的相关认证或审核，并与多家头部企业建立合作。这些产品对光刻机的制造和运行至关重要。
10
、京华激光（603607）
公司控股的美国菲涅尔制版科技公司主要从事光学制版用光刻机的研发工作，尽管其研发的光刻机与半导体领域的光刻机存在差异，但公司在光刻机领域的布局仍值得关注。
11、福晶科技（002222）
曾为ASML供应商，表明公司在光刻机相关领域具有一定的技术实力和市场地位。
12、腾景科技（688195）
据相关报道，公司在光刻机相关领域有所布局，但具体细节需进一步了解。
13、炬光科技（688167）
为光刻机提供关键元件，如光场匀化器等，与ASML有供货关系。2023年3月20日互动易回复：公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器（招股书中“光场匀化器——光刻应用”），供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。同时，公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，公司的光场匀化器产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。
15、苏大维格（300331）
公司专注于微纳光学领域，其光刻机用定位光栅部件等产品对光刻机的制造和运行有重要作用。
华卓精科（未上市）
国内首家光刻机双工件台厂商，技术领先的科技创新型公司，主营超精密测控装备部件及整机。
科益虹源（未上市）
上海微电子光刻机的光源制造商，为光刻机提供关键的光源技术支持。
二、光刻胶、胶溶剂、引发剂等光刻材料
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。
