2017年5月18日下午，中央政治局委员、国务院副总理、国家集成电路产业发展领导小组组长马凯，国务院副秘书长丁学东，工业和信息化部部长苗圩，国家发改委副主任胡祖才，北京市副市长阴和俊一行莅临视察调研北京北方华创微电子装备有限公司。
同时，参加陪同的有国务院研究室工交贸易司司长张军立，财政部副巡视员赵长胜，科技部副巡视员邱钢，工业和信息化部电子信息司副司长彭红兵，北京市经济和信息化委员会主任张伯旭，北京经济技术开发区管委会主任梁胜等领导。
北京电子控股董事长王岩，北方华创董事长张劲松，副董事长耿锦启，总裁赵晋荣，高级副总裁张国铭等领导参加了接待。
马凯副总理一行听取了北方华创总裁赵晋荣关于北方华创微电子在集成电路装备领域发展情况的汇报，随后进入洁净厂房深入产品研发与制造现场，并详细询问了关于刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、清洗机等集成电路核心装备的研发、生产和市场销售情况。马凯副总理多次表扬北方华创微电子紧跟市场需求，以市场为导向的发展战略；并对应用于集成电路、先进封装、LED、MEMS、光伏等领域的装备大范围实现了国产化替代，取得高占有率给予了肯定和鼓励。
视察中，马凯副总理特别关注企业高端技术与管理人才的保障和激励机制，指出企业的发展关键在人才，关键是留住和持续吸引优秀的技术和管理人才。
北方华创微电子作为中国高端集成电路装备产业的龙头企业，深知肩负的使命和责任，将围绕国家在集成电路产业的战略布局，抓住中国集成电路装备产业的发展机遇，不断加强新技术研发投入和新产品开发，提升公司在海内外市场的竞争力，为中国集成电路装备产业的发展做出更大的贡献。
2017年5月17日,北方华创科技集团股份有限公司及全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司收到北京市经济和信息化委员会通过北京电子控股有限责任公司拨付的国家科技重大专项"14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化"项目经费资金9,423.00万元、"28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产业化" 项目经费资金4,811.00万元及"14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化"项目经费资金4,746.00万元,详细情况如下:
1. “14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目
根据"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项实施管理办公室下发的《关于02专项2014年度项目立项批复及落实地方配套经费的通知》【ZX02[2014]018号】及其附件,北方华创微电子承担的国家科技重大专项"14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化"项目执行期四年(2014年-2017年),项目经费资金金额合计123,492.06万元,其中,中央财政核定资金总额39,147.34万元,地方政府配套资金41,505.73万元。中央财政资金及地方政府配套资金在项目执行期内分批拨付,本次,北方华创微电子收到地方政府配套资金9,423.00万元。
2. “28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产业化”项目
根据"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项实施管理办公室下发的《关于02专项2015年度项目立项批复的通知》【ZX02[2015]018号】及其附件,北方华创承担的国家科技重大专项"28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产业化"项目执行期四年(2015年-2018年),项目经费资金金额合计55,144.00万元,其中,中央财政核定资金总额16,098.00万元,地方政府配套资金总额19,997.00万元。中央财政资金及地方政府配套资金在项目执行期内分批拨付,本次,北方华创收到地方政府配套资金4,811.00万元。
3. “14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目
根据"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项实施管理办公室下发的《关于02专项2016年度项目立项批复的通知》 【ZX02[2016]008号】及其附件,北方华创微电子承担的国家科技重大专项"14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化"项目执行期四年(2016年-2019年),项目经费资金金额合计67,842.30万元,其中,中央财政核定资金总额12,893.85万元,地方政府配套资金16,948.45万元。中央财政资金及地方政府配套资金在项目执行期内分批拨付,本次,北方华创微电子收到地方政府配套资金4,746.00万元。
