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干货分享 | 半导体行业对电子级超纯水的要求有多严格?

洁净工程联盟  · 公众号  ·  · 2025-01-15 11:20

正文


水分子H2O,占地表面积的70%,是人类能够生存在地球上的最重要因素之一。我们日常所使用的水可能来源于海水、河水、湖水、雨水、地下水等,经过净化后得以使用。随着科技工业的发展,水质在科技工业上的应用要求也愈发严苛,甚至远超我们日常饮用的饮用水及包装水的标准,有的高达数十倍到百倍以上。

科技工业对水质的要求因其应用领域而异。不同科技领域根据生产过程中水质对产品的影响,制定了不同的水质标准,允许的杂质种类和浓度也各不相同。


半导体制程与超纯水

在半导体制造领域,对水质的要求尤为严格。为了满足这种严苛的水质要求,半导体制造业所使用的水被称为电子级水或超纯水。这种水中几乎不允许存在任何杂质,包括但不限于颗粒、金属、离子、有机物和细菌等。为了达到如此严格的水质要求,在制造超纯水的工艺上必须十分精细,以去除各种杂质。


如何制备超纯水?

超纯水的制造工艺通常包括以下几种:

  • 预处理设备

  • 软水器

  • 反渗透主机

  • 185nm UV灯

  • 活性炭塔

  • RO 储水箱

  • 离子交换混床设备或EDI设备

  • 纯化储水箱箱

  • 254nm UV 灯

  • 微孔过滤器 (超滤膜)


超纯水水质标准

在半导体行业中,常用的水质标准包括:

  • GB/T 11446-2013 电子级水标准

  • GB/T 33087-2016 仪器分析用高纯水规格及试验方法

  • GB/T 6682-2008/ ISO 3696分析实验室用水规格和试验方法

  • ASTM D1193-06(2018)  试剂水标准规范

  • ASTM D5127-07 电子学和半导体工业用超纯水标准指南

  • SEMI F63:2021 Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing


SGS服务内容

为了满足客户对水质分析的需求,SGS可为您提供一站式水质分析服务:

客户现场在线分析

在线总有机碳(TOC)测试、在线微粒子(Particle)测试、在线电导率测试、在线溶氧测试、在线细菌采样等

客户现场采样服务

专业工程师到现场以专业手法进行样品采集

提供采样瓶服务

提供高质量高洁净采样瓶,并附赠采样方法让客户自采

实验室分析





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