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薄膜是现代信息技术的核心要素之一，薄膜材料与器件结合成为电子、信息、传感器、光学、太阳能等技术的核心基础。
在显示器面板生产中,材料镀膜方式可以大致的分为物理气象沉积方法 (Physical Vapor Deposition，PVD)和化学气象沉积方法(Chemical Vapor Deposition，CVD)；而面板显示的蒸镀技术是物理气象沉积PVD方法的一种，与同属于PVD的溅射镀膜法相比，蒸镀技术还需要更高的真空度来增加其气态分子的平均自由程（
Mean Free Path
，
MFP
）
[1]
；蒸镀PVD的核心参数涉及到气流控制，真空仓压力控制，电源控制，玻璃温度控制和磁场控制等这些参数直接影响到镀膜膜厚，镀膜均匀度，金属膜电阻率等关键性能，进而影响到TFT器件性能，PVD设备是Array工艺中非常核心的关键设备，技术门槛非常高。
买到Canon Tokki的设备就如同得到了一张生产OLED面板的“入场券”
，目前Canon Tokki的蒸镀设备技术能力最佳，能把蒸镀误差控制带5微米以内，基本垄断了全球蒸镀机的供应；
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中国显示大而不强，尤其是国内的OLED企业，主要集中在产业链中下游的面板显示，而上游核心生产设备主要依靠进口，尤其是中国缺乏真空蒸镀机这种关键设备，就好比被扼住了咽喉，不能顺畅“呼吸”，所以中国无法短期内进入上游产业的角逐[2]。为此，国家战略层面出台了《中国制造2025》，加快研发先进熔炼、凝固成型、
气相沉积
、型材加工、高效合成等新材料制备关键技术和装备、国家部委政策：2018年，国家发改委和工业信息化部发布的《新型显示产业超越发展三年行动计划》，支持柔性面板等量产技术研发以及
上游装备
的发展。
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完 ———————————————
