研究进展：压电-微机电MEMS | Nature Communications

各种科学领域（如蛋白质组学和自旋电子学）的新需求，即感测参数定位在几十微米内的片上器件。纳米和微机电系统Nano and microelectromechanical systems (NEMS/MEMS) 广泛用于监测在数百微米或更大范围内，施加均匀力的参数，例如加速度、压力和磁场。然而，当以更局部化参数（如单个细胞的质量）为目标时，就会表现出了显著降低的传感性能。

Localized topological states beyond Fano resonances via counter-propagating wave mode conversion in piezoelectric microelectromechanical devices.

压电微机电器件中，通过反向传播波模转换超越Fano共振的局域拓扑态

图1: 理论和实验结果辅助的物理和MEMS器件示意图。

图2:弹簧-质量模型解析地描述，反向传播的波模式转换拓扑界面。

图3:MEMS器件的实验位移场和Q因子。