1、张江高科（600895）：根据2024年9月10日互动易，根据公司2016-003号公告，公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司22,345万元人民币，持有上海微电子公司10.779%的股权，后续未实施增持或减持。
2、海立股份（600619）: 根据公司官网：海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。
3、东方嘉盛（002889）：2023年9月8日互动易回复：公司上半年向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库已获批通过。七月初公司已经中标，将与国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻机寄售维修服务。
4、奥普光电（002338）：公司目前持有长光辰芯公司25.56%的股权。长光辰芯是一家CMOS图像传感器研发商，主要提供分辨率CMOS图像传感器GMAX系列、科学级CMOS图像传感器GSENSE系列和线阵CMOS图像传感器GL系列，同时提供芯片定制业务，为用户提供定制化图像传感器。
5、蓝英装备（300293）： 2021年12月10日投资者关系记录表：公司精密清洗设备面向的高端芯片制造行业企业客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司，该客户负责制造光刻机的核心光学系统。
6、电科数字（600850）： 2022年11月26日公司公告：在先进制造领域，子公司柏飞电子为轨道交通龙头企业提供信号控制产品，为半导体装备生产商提供光刻机的控制器。
7、腾景科技（688195） 2023年半年报：公司合分束器项目应用于光刻机光学系统，可满足国产替代进口的需求。
8、晶方科技（603005）： 2022年7月17日互动易：公司下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商，部分产品运用于光刻机部件。
9、富乐德（301297）：2023年9月8日互动易回复：公司已研发并量产半导体14nm制程洗净工艺、储备的半导体7nm部品清洗工艺已较为成熟。公司为光刻环节的溶胶显影、涂胶等设备提供精密洗净服务。
10、茂莱光学（688502）： 2023年5月23日互动易回复：公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块。
11、永新光学（603297）： 2022年1月29日公司对上海证券交易所监管工作函回复的公告表示：公司功能性光学镜头及元件扩产项目于 2020 年 11 月达产，其中专业成像镜头范围较广，包括专业影像镜头、机器视觉镜头、LDI光刻机镜头等，镜头偏心要求高，一般要求0.002mm以下，需要定心处理；镜头成像质量高，复杂程度提升，最多由13个镜片组成，部分由2-3个镜头组合成。
12、富创精密（688409）： 根据公司招股说明书：公司结构零部件（基板、冷却板等）多种产品应用于光刻机、涂胶显影设备，主要客户有上海微电子、芯源微。
13、凯美特气（002549）：2023年半年报：控股子公司凯美特电子特种稀有气体有限公司光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证。
14、苏大维格（300331）2022年2月16日互动易回复：在关键器件方面，公司向上海微电子提供了其半导体领域投影式光刻机用的定位光栅尺部件。
15、思泰克（301568）：2024年5月30日公告：公司以自有资金向思坦科技出资 3, 600 万元人民币，本次增资完成后，公司将持有思坦科技 1.94%的股权。据思坦科技2024年10月18日官微：由思坦科技与南方科技大学、中国香港科技大学、国家第三代半导体技术创新中心（苏州）联合攻关的重大成果——基于高功率 AlGaN 深紫外 Micro-LED 显示的无掩膜光刻技术，于10月15日正式在国际顶尖权威学术期刊 Nature Photonics 上发表。本次报道，既代表思坦科技在 Micro-LED 无掩膜光刻领域取得了突破性成果，同时也标志着半导体行业的制造工艺即将迎来革命性进展。
