微纳加工领域最受欢迎的专业培训课“微纳米加工技术讲习班”开始报名了！
微纳米加工技术讲习班由物理所微加工实验室于2005年开始举办，旨在系统介绍微纳米加工技术的基础、应用和最新前沿进展，目前已成功举办8次，累计参加人数3000余人，均来自全国各高校、科研院所和高科技公司。
报名参加微纳米加工技术讲习班的学员，全程免费，提供午餐，还可以领取讲习班课程配套的书籍。报名学员有机会进入实验室现场参观微纳加工设备操作演示。
报名方式：发送报名信息——姓名、单位、职称（学生注明年级）至邮箱[email protected]。
报名人员仅限从事微纳米技术研究的科技人员，高校研究生与高年级本科生。
中科院物理所微加工实验室于2003年开始运行，2008 年成为科学院“纳米材料与纳米结构加工平台”，2009 年加入“中科院所级公共技术服务中心”和2010 年成为“基金委纳米制造重大研究计划联合实验室”，目前微加工实验室已发展成为面向国内外的技术服务平台，为国内微纳加工技术和人才的交流提供了一个舞台。
微加工实验室现有固定人员10人，其中研究员1人，主任工程师2人，副主任工程师3人，工程师4人，平均年龄36岁。在读研究生共12人，是一支以青年人为主的富有活力的专业技术创新团队。
微加工实验室承担国家科技部、基金委、科学院的重大、重点及一般科研项目30余项，合作发表SIC论文200余篇，获国家授权发明专利20余项，2015年纳米级长度标准样品获国家一级标准物质认证，2015年获北京市科学技术二等奖。
微加工实验室拥有包含万级、千级和百级的近1000 平米超净实验室，主要装备有加工、刻蚀、沉积、表征、测量及相关辅助设备60余台，微纳加工能力涵盖从微米到亚纳米，从零维到三维。
聚焦离子束刻蚀与沉积系统2台（FIB）
电子束曝光系统2台（EBL）
紫外光刻系统2台（UL）
微加工实验室研究方向
微纳人工结构的加工方法与工艺研究
微纳人工结构的新奇物性研究
微纳人工结构的器件与集成应用研究
特色工作1
提出了利用聚焦离子束操控在悬空金属薄膜上实现三维微纳结构折叠加工的方法，在红外-可见波段的光学调控、光学探测、主动控制等领域具有非常好的应用前景。研究结果发表在Light: Science & Applications, 4(2015) e308.
特色工作2
首次发现多壁碳管的多通道弹道输运特性和高电流承载能力，证明了多壁碳纳米管有望成为纳电子器件及集成电路的下一代互联导线。研究成果作为Cover story发表在Physics Review Letters, 95（2005）086601.
特色工作3
提出一种稳定性好和无污染的晶间断裂加工悬空超小纳米间隙电极对(1-2nm)的新方法，为研究单个分子电子学及其与宏观电路相连接提供了有利工具。研究结果作为Inside Back Cover发表在Advanced Materials，27(2015) 3002.
更多信息请关注实验室主页http://lmf.iphy.ac.cn/
编辑：Alex Yuan
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