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集成电路产业是我国重点发展的战略性产业之一。11月23号，博康光刻产业科技园落户徐州经济技术开发区，力争5年打造百亿级科技园区。
即将建设的博康光刻科技园占地约85亩，总投资10亿元，是由博康集团收购英国NBL公司并落户徐州经济技术开发区的重大项目，未来将在园区内主要生产电子束光刻机、扫描电镜、高压电源以及电子束枪、无磁电机等高科技产品。
据博康集团董事长兼总裁傅志伟介绍，目前在集成电路、芯片制作领域，他们现在引进的项目，国外普遍对中国都是一个禁售和封锁的状态。所以他们此次的引进和中国博康公司合作是打破国际垄断和国际的封锁，使中国真正能够在集成电路产业、在设备与材料这一块有一个更大的突破。
目前，作为世界最顶尖的电子束光刻机主要应用于集成电路微纳器件的加工，以及航天、卫星、军工等特种芯片和半导体掩膜的制作，是微电子研究的必配设备。正是看中了项目的发展潜力，此次收购，博康集团还获得了徐州市产业发展引导基金的支持，专项设立"华鸿广电产业基金"2.02亿元
徐州市国盛投资控股有限公司副总经理宋超说，他们提供的基金主要支持博康集团收购英国的NBL，这个公司是目前全世界在电子束光刻领域是最先进的公司。收购之后，预期会在徐州打造半导体产业链方面起到很重要的作用。
可以预见，徐州博康光刻产业科技园落户徐州，将给徐州市带来一个前景广阔的朝阳产业--集成电路装备制造业，对于我市培育新的经济增长点、高端人才集聚将起到十分重要的促进作用和示范效应。
中外光刻机的巨大差距
光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠，研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此，能生产高端光刻机的厂商非常少，到最先进的14nm光刻机就只剩下ASML，日本佳能和尼康已经基本放弃第六代EUV光刻机的研发。
目前，光刻机领域的龙头老大是荷兰ASML，并已经占据了高达80%的市场份额，垄断了高端光刻机市场最先进的EUV光刻机售价曾高达1亿美元一台，且全球仅仅ASML能够生产。Intel、台积电、三星都是它的股东，重金供养ASML，并且有技术人员驻厂，Intel、三星的14nm光刻机都是买自ASML，格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光刻机主要也是来自ASML。
相比之下，国内光刻机厂商则显得非常寒酸，处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是90nm光刻机，制程上的差距就很大……国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。
这不仅使国内晶圆厂要耗费巨资购买设备，对产业发展和自主技术的成长也带来很大不利影响ASML在向国内晶圆厂出售光刻机时有保留条款，那就是禁止用ASML出售给国内的光刻机给国内自主CPU做代工只要中芯国际、华力微等晶圆厂采购的ASML光刻机，虽然不影响给ARM芯片做代工，但却不可能给龙芯、申威等自主CPU做代工、商业化量产。即便是用于科研和国防领域的小批量生产，也存在一定风险采用陶瓷加固封装、专供军用的龙芯3A1500和在党政军市场使用的龙芯3A2000，只能是小批量生产，而且在宣传上也只能含糊其辞的说明是境内流片……这很大程度上影响了自主技术和中国集成电路产业的发展。
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