正文
根据芯思想研究院（ChipInsights）的数据表明，
201
9
年全球
半导体、面板、LED用
光刻机出货
约
550
台，
较
201
8
年
减少
50
台。其中半导体前道制造用
光刻机出货
约
360
台
；半导体封装、面板、
LED
用光刻机出货约
190
台
。
一、前道用光刻机情况
201
9
年
ASML
、
Nikon
、
Canon
三巨头半导体用光刻机出货
359
台，较
201
8
年的
37
4
台
减少
15
台，
跌幅为
4
%
。
从
EUV
、
ArFi
、
ArF
机型的出货来看，
全年共出货
154
台。其中
ASML
出货
1
30
台，占有
84%
的市场
，
较
2018
年下降
6
个百分点
。
EUV
方面还是
ASML
独占鳌头，市占率
100%
；
ArFi
方面
ASML
市占率高达
88%
；
ArF
方面ASML占有63%的市场份额；KrF方面ASML也是占据63%的市场份额；在
i
线
方面ASML也拿下了该拿的份额。
从总营收来看，201
9
年
ASML
、
Nikon
、
Canon
三巨头光刻机总营收954
亿元人民币，较
201
8
年小幅增长
。从营收占比来看，ASML占据74%的份额。虽然2019年光刻机出货数量有所下滑，但高端机台
EUV
、
ArFi
、
ArF
的出货量增加，也使得总体营收微幅增长。
ASML
201
9
年
ASML
光刻机营收达704
亿元人民币，较
201
8
年成长
9%
，增幅明显收窄（
2018
年较
2017
年成长
36%
）
。
201
9
年
ASML
共出货
22
9
台光刻机，较
201
8
年
224
年增加
5
台，增长
2.23%
。其中
EUV
光刻机出货
26
台，较
201
8
年增加
8
台；
ArFi
光刻机出货
82
台，较
201
8
年
减少
4
台；
ArF
光刻机出货
22
台，较
201
8
年增加
6
台；
KrF
光刻机出货
65
台，较
201
8
年
减少
13
台；
i-line
光刻机出货
34
台，较
201
8
年增加
8
台。
201
9
年
ASML的EUV
光刻机营收达
217
亿元人民币，较
201
8
年增加70
亿元人民币。
201
9
年单台
EUV
平均售价超过
8
亿元人民币，较
201
8
年单台平均售价增长
3
%
。
值得注意的是，
2019
年第三季度，
ASML
开始出货
NXE:3400C
，这是最新型的
EUV
光刻机，吞吐量达
17
5wph
（
300
毫米晶圆）。
NXE:3400C
目前累计出货
9
台，估算单价接近10
亿元人民币。
201
9
年中国
FAB
建设高潮，多个
FAB
搬入设备，其中搬入
ASML
光刻机的有中芯南方基地、华虹无锡
FAB7
、粤芯半导体等。
Nikon
201
9
年
，
Nikon
光刻机
业务
营收约156
亿元人民币，较
201
8
年
下滑
5.4
%
。
201
9
年，
Nikon
半导体用光刻机出货
46
台
，
较
201
8
年增加
10
台
。
其中
ArFi
光刻机出货
11
台，较
201
8
年度
增加
6
台；
ArF
光刻机出货
13
台，较
2017
年度增加
4
台；
KrF
光刻机出货
4
台，较
2017
年度
减少
1
台；
i-line
光刻机出货
1
8
台，较
2017
年度增加
1
台。
201
9
年度，
Nikon
半导体用光刻机出货
46
台中，其中全新机台出货
28
台，翻新机台出货
18
台。
Canon
2019
年，
Canon
光刻机
营收约为94亿
元人民币，较
201
8
年
下降
2
1.
3
%
。
2019
年，
Canon
半导体用光刻机出货达
84
台，
较
2018
年出货量
114
台，
减少
30
台，下滑
26.3%
；全部
i-line
、
KrF
两个低端机台出货。
2019
年
12
月，
Canon
宣布推出
FPA-3030iWa
型
光刻机
，
预计
2020
年
2
月下旬发售
。
该机型
采用的投影透镜具有
52
毫米
x
52
毫米
的广角
，
NA
可从
0.16
到
0.24
范围内
可调
。
新设备可以在
2
英寸到
8
英寸之间自由选择晶圆尺寸的处理系统，
方便
支持各种化合物半导体晶圆
，
可
运用在预计未来需求增长的汽车功率器件、
5G
相关的通信器件、
IoT
相关器件（如
MEMS
和传感器等）的制造工艺中
。
二、面板、封装、
LED
用光刻机情况
Nikon
201
9
年，
Nikon
面板（
FPD
）用光刻机出货
40
台
