2017年MEMS高级培训课程

主办单位

中科院上海微系统所、麦姆斯咨询

协办单位

上海市物联网行业协会、新微创源孵化器、华强电子网、华强旗舰

MEMS高级培训课程

2017年MEMS高级培训课程主要讲授MEMS成熟器件（如加速度计、MEMS麦克风、压力传感器、陀螺仪、红外传感器）和前沿器件（如微流控芯片、生物传感器、电化学传感器）的设计、制造、封测和应用知识，同时对MEMS制造工艺的特殊性、重点难点和解决方案进行深入的讲解，最后还将带领学员实地参观上海微系统所的微系统技术加工服务平台。

主要面向高等院校学生和老师，MEMS设计、制造、封测及终端应用相关企业的初级和中级技术人员以及高级管理人员，也欢迎参加其它希望了解MEMS技术和产业的非MEMS背景人员。

2017年10月20日全天、10月21日全天和10月22日上午，共计2.5天。

本课程赠送上海微系统所的微系统技术加工服务平台实地参观：时间：10月22日下午；地点：上海市宜山路800号。

10月19日下午15:00-17:00或10月20日上午8:00-8:25报到。

10月20日至10月22日期间的上课时间：

上午：8:30-12:00

下午：13:00-16:30

中国科学院上海微系统与信息技术研究所：上海市长宁路865号

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 李昕欣 研究室主任/研究员

本课程介绍MEMS压力传感器、MEMS麦克风和红外热电堆传感器的产业链各环节关键技术和典型应用，重点讲解李昕欣小组国际独创“微创手术（MIS）”MEMS工艺。该项工艺可在半导体代工厂量产，与Bosch的APS工艺和意法半导体的VENSENS工艺同为相互竞争的第三代单芯片MEMS通用工艺。

课程目录：

1. MEMS压力传感器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

2. MEMS麦克风的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

3. 红外热电堆传感器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 杨恒 研究员

本课程介绍MEMS谐振器、陀螺仪、加速度计的产业链各环节关键技术和典型应用，重点讲解上海微系统所最新的MEMS技术成果。

课程目录：

1. MEMS谐振器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

2. 陀螺仪的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

3. 加速度计的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 金庆辉 研究员

本课程主要针对一些前沿的生物和化学MEMS传感器技术，以及典型应用进行讲解，如生物传感器、电化学传感器、环境监测和食品安全监测物联网等。

课程目录：

1. 生物传感器技术及典型应用