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晶格半导体
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晶格半导体
单晶制造时主流制造方法为直拉法,直拉法的单晶炉中很重要的一个部件为重锤,重锤用于连接籽晶和钨丝绳,重锤的好坏,将会直接影响所拉制的单晶。
在直拉法单晶硅生长过程中，重锤通过钨丝绳与籽晶连接，重锤的重量使得籽晶保持在适当的位置，同时在提拉过程中控制晶体的生长速度。重锤的设计和材料选择需要考虑其在高温环境下的稳定性，以保证在晶体生长过程中不会因为温度变化而影响重锤的性能。
重锤钼含量不低于99.95%，物理密度9.9 g/cm3以上， 耐高温可达1600°-1700°以上。同心度与钼籽晶夹头一样的要求，公差0.02mm以内，丝口要求光滑，无烂牙，产品光洁度高。
重锤的作用
籽晶连接：重锤通常与籽晶（即单晶硅的初始部分）相连接，通过重锤的重量来稳定籽晶的位置，通过提拉机构带动籽晶上升，从而实现晶体的拉制，保证其在生长过程中的垂直度和稳定性。
旋转控制：在晶体生长过程中，需要控制晶体和坩埚的旋转速度，重锤通过与籽晶的连接，可以带动整个系统旋转，以控制晶体生长的速率和质量。
重量平衡：重锤的重量需要与晶体生长过程中的重量相匹配，以保持系统的平衡，防止因重量不均导致的晶体生长缺陷。
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