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三星已完成3nm制程研发!基于GAAFET

芯片大师  · 公众号  ·  · 2020-01-03 17:41

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导读: 3年以内晶圆代工领域的两强相争将更为激烈,Intel梦在何方?

1月3日,据韩媒Business Korea报道,基于GAAFET改进工艺,三星电子已经完成3nm制程的研发工作。


图:三星3nm制程研发成功(Business Korea)



此前,我们在文章 美国正制定规则,拟限制对中国出口GAAFET技术! 中介绍了3nm时代具有代表性的GAAFET工艺。


2017年,IBM利用GAAFET实现了5nm芯片制程。 在2018年5月,三星宣布将利用 改良自GAAFET的专利结构MBCFET ,实现5nm、4nm及3nm制造工艺,而这一步终于在2020年1月3日得以实现,这意味着三星将在代工领域继续保持对台积电的攻势。

根据三星此前发布的工艺路线图,将使用极紫外(E UV )曝光技术 制造 4个7nm至4nm的FinFET工艺,然后使用EUV制造3nm GAA和MBCFET。同7nm FinFET相比,使用GAA及衍生结构的 芯片面积最高减少45%,功耗降低50%,性能提升35%


这项技术成果的落地对三星具有里程碑意义,为此,1月2日 三星电子副董事长李在镕 专程访问了京畿道的三星半导体研究中心。 而台积电 目前正处于 3nm 制程 试产阶段 岛内负责 3nm量产 的厂房 已经于2019年 顺利 通过环评





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